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龙图腾网恭喜中国科学院光电技术研究所申请的专利精密传输预对准装置和预对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115881603B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211716129.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权精密传输预对准装置和预对准方法是由罗先刚;闫剑;刘明刚;李成文利;王长涛设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本精密传输预对准装置和预对准方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种精密传输预对准装置和预对准方法，该装置包括：温度处理单元2，包括均流板2.1、帕尔贴元件2.3和散热风扇2.4，用于通过加热或者制冷将气浴气体调控至目标温度；气浴恒温箱1，包括气体过滤器1.1、气浴栅栏1.2和温度传感器1.3，用于将气浴气体均匀传递至内部腔室1.6及测量温度；气浴恒温箱1与温度处理单元2分别通过供风管1.4和回风管1.5连接，以使气浴气体进行流通；预对准系统3，设于气浴恒温箱1的内部腔室1.6中。本公开的预对准装置结构体积小、温度分布均匀，能同时实现晶圆预对准、面形翘曲检测以及表面异物检测。

本发明授权精密传输预对准装置和预对准方法在权利要求书中公布了：1.一种精密传输预对准装置，其特征在于，包括：温度处理单元（2），包括均流板（2.1）、帕尔贴元件（2.3）和散热风扇（2.4），用于通过加热或者制冷将气浴气体调控至目标温度；气浴恒温箱（1），包括气体过滤器（1.1）、气浴栅栏（1.2）和温度传感器（1.3），用于将所述气浴气体均匀传递至内部腔室（1.6）及测量温度；所述气浴恒温箱（1）与所述温度处理单元（2）分别通过供风管（1.4）和回风管（1.5）连接，以使所述气浴气体进行流通；预对准系统（3），设于所述气浴恒温箱（1）的内部腔室（1.6）中；其中，所述预对准系统（3）包括：4自由度位移系统，包括xy运动平台（3.7）、z运动平台（3.6）和围绕z轴旋转的旋转平台（3.5），用于调节晶圆（3.4）的姿态和位置；所述围绕z轴旋转的旋转平台（3.5）包括：承片台（3.5.1）；真空管路（3.8），穿过安装在所述围绕z轴旋转的旋转平台（3.5）中心的通气管道（3.5.3）进行晶圆的吸附；通气管道（3.5.3），其一端通过O形圈（3.5.5）与底部端盖（3.5.6）之间形成静密封结构，其另一端通过泛塞密封圈（3.5.2）与所述承片台（3.5.1）之间形成动密封结构。

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