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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115638734B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211343261.4，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置是由刘兆武;王玮;李文昊;姜珊;巴音贺希格;李烁设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置在说明书摘要公布了：一种长行程工作台精密位移分步测量方法与装置涉及精密测量领域，解决现有技术中长量程精密位移测量装置无法精密测量运动的工作部件的技术问题。该装置包括：测量反射镜、双直线导轨、第一测量干涉组件、第二测量干涉组件、电机组件和丝杠螺母副；丝杠螺母副中的丝杠两端分别设置在电机组件和第一测量干涉组件上，保持固定的距离，丝杠螺母副中的螺母安装在第二测量干涉组件上，通过电机组件带动丝杠的转动，改变第二测量干涉组件位于丝杠上的位置，调节第一测量干涉组件和第二测量干涉组件之间的距离；并使第一测量干涉组件、第二测量干涉组件和电机组件沿双直线导轨运动；第一测量干涉组件和第二测量干涉组件分别检测测量反射镜上设置的被测物。

本发明授权一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种长行程工作台精密位移分步测量方法，其特征在于，该方法基于长行程工作台精密位移分步测量装置，该装置包括：测量反射镜、双直线导轨、第一测量干涉组件、第二测量干涉组件、电机组件和丝杠螺母副；所述丝杠螺母副中的丝杠两端分别设置在所述电机组件和所述第一测量干涉组件上，保持固定的距离，所述丝杠螺母副中的螺母安装在所述第二测量干涉组件上，通过电机组件带动所述丝杠的转动，改变所述第二测量干涉组件位于所述丝杠上的位置，调节第一测量干涉组件和第二测量干涉组件之间的距离；并使第一测量干涉组件、第二测量干涉组件和电机组件沿所述双直线导轨运动；所述第一测量干涉组件和第二测量干涉组件分别检测测量反射镜上设置的被测物；该方法包括如下步骤：步骤一：测量初始阶段，将第二测量干涉组件靠近第一测量干涉组件设置，第一钳制器和第二钳制器锁死，第一测量干涉组件、第二测量干涉组件与双直线导轨相对静止；将被测物靠近第一测量干涉组件；此时第一测量干涉组件的测量值与第二测量干涉组件的测量值相同，设为起始测量值；步骤二：被测物远离第一测量干涉组件和第二测量干涉组件，第一测量干涉组件的测量值与第二测量干涉组件的测量值设为第一阶段测量值；步骤三：被测物静止，第二钳制器锁死，第一钳制器放开，正向启动电机，带动丝杠旋转，第二测量干涉组件与双直线导轨相对静止，电机与第一测量干涉组件相对静止，并同步向被测物运动；当第一测量干涉组件运动至靠近被测物时，关闭电机，第一钳制器和第二钳制器锁死，第一测量干涉组件、第二测量干涉组件与双直线导轨相对静止，将第二测量干涉组件的测量值覆盖第一测量干涉组件的测量值，此时第一测量干涉组件的测量值与第二测量干涉组件的测量值相同，仍是第一阶段测量值；步骤四：第一钳制器锁死，第二钳制器放开，反向启动电机，带动丝杠旋转，电机、第一测量干涉组件与双直线导轨相对静止，第二测量干涉组件向被测物方向运动；当第二测量干涉组件运动靠近第一测量干涉组件时，关闭电机，第一钳制器和第二钳制器锁死，第一测量干涉组件、第二测量干涉组件与双直线导轨相对静止，将第一测量干涉组件的测量值覆盖第二测量干涉组件的测量值，此时第一测量干涉组件的测量值与第二测量干涉组件的测量值相同，仍是第一阶段测量值；此时第二测量干涉组件靠近第一测量干涉组件，被测物靠近第一测量干涉组件；步骤五：重复步骤二，并得出第二阶段测量值；步骤六：重复步骤三-步骤五-步骤二的循环，直至工作台运行整个行程，将所有阶段测量值相加，实现一种长行程工作台精密位移分步测量装置的测量方法。

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