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龙图腾网恭喜西安交通大学申请的专利基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115708990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211290970.0，技术领域涉及：B01D53/32；该发明授权基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法是由孙昊;吴翊;荣命哲;郭运顺;龙虎设计研发完成，并于2022-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法，基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置中，进气控制系统分别控制载气、冷却气、含氟气体与活性气体的流量；电感耦合等离子体反应器产生并约束热等离子体区域，并有腔体振动发生器固定在反应腔外壁以防止固体粉末附着；尾气处理系统由锥形粉末收集器处理固体产物，喷淋塔处理酸性气体产物，并在检测达标后排放，装置利用高频交流电源和感应线圈在反应腔内产生感应耦合热等离子体，在局部高温作用下使含氟气体彻底分解并与活性气体反应，从而抑制含氟气体的自恢复特性。

本发明授权基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置，其包括：进气控制系统，其包括：载气及冷却气输入线路，其包括依次连接的Ar气源、气阀和两个并行的质量流量计，其中，一个质量流量计、气阀和Ar气源构成提供工作状态载气Ar流量Q1的工作状态载气输入线路，另一个质量流量计、气阀和Ar气源构成提供冷却气Ar流量Q2的冷却气Ar输入线路；反应气输入线路，其包括依次连接的反应气气源、气阀和质量流量计以提供活性气体流量Q3；含氟气体输入线路，其包括依次连接的含氟气体气源、气阀和质量流量计以提供含氟气体流量Q4；电感耦合热等离子体发生器，其包括：封闭壳体，其包括反应腔；同心陶瓷管，其设于所述封闭壳体内，旋流环嵌设于同心陶瓷管内，旋流环包括使气体产生轴向与切向分速度的旋转气路，输入的气体气流场经由所述旋转气路向环形中心汇聚，同心陶瓷管的最内层连通所述工作状态载气输入线路以可控地提供工作状态载气Ar流量Q1，中间层的旋流环连通所述反应气输入线路和含氟气体输入线路以可控地提供活性气体流量Q3和含氟气体流量Q4，外层连通冷却气Ar输入线路以可控地提供冷却气Ar流量Q2；线圈，其设于所述封闭壳体内，其接出且连接封闭壳体外部的高频电源以产生耦合热等离子体；腔体振动发生器，其设于封闭壳体外壁；无害化处理系统，其包括：锥形粉末收集器，其位于反应腔下端，在腔体振动发生器作用下，固体产物难收集于锥形粉末收集器底部；碱液喷淋塔，其连通所述反应腔的气体产物出口，其包括：塔体，其容纳碱液；砂浆泵，其将塔体下部的碱液循环抽取到上部；至少一层填料层，其间隔地层叠设于塔体内；喷头，其连通所述砂浆泵且设于所述填料层上方，酸性气体产物被填料层吸附并与喷口处的碱雾反应；废气检测装置，其连接碱液喷淋塔前后设置的采样口，采样并检测从碱液喷淋塔排出的废气。

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