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龙图腾网恭喜大连理工大学申请的专利一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115510728B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211156968.4，技术领域涉及：G06F30/25；该发明授权一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质是由李京泽;张钰如;高飞;王友年设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质，涉及容性耦合等离子体源模拟技术领域，所述方法包括：将目标区域划分为多个彼此相接的正交网格；确定待模拟容性耦合等离子体源的当前时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数并确定当前时刻的电子流体方程组、重粒子流体方程组和当前时刻的离散形式静电场方程；从而确定当前时刻的电势和电场强度以及下一时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数，满足预设终止条件时，将第二设定时间段内的流动状态参数、电势和电场强度确定为待模拟容性耦合等离子体源的模拟结果。本发明提高了容性耦合等离子体源的模拟效率。

本发明授权一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种等离子体源的模拟方法，其特征在于，所述方法包括：将目标区域划分为多个彼此相接的正交网格；所述目标区域包括待模拟容性耦合等离子体源的放电腔室和电介质区域；确定所述待模拟容性耦合等离子体源在当前时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数；所述电子的流动状态参数包括密度和温度，所述重粒子的流动状态参数包括密度、流速和温度；所述重粒子包括：离子和中性粒子；根据当前时刻的电子的流动状态参数确定当前时刻的电子流体方程组；所述电子流体方程组包括：电子连续性方程和电子能量方程；根据当前时刻的重粒子的流动状态参数确定当前时刻的重粒子流体方程组；所述重粒子流体方程组包括：重粒子连续性方程、重粒子动量方程和重粒子能量方程；根据当前时刻的电子的流动状态参数和当前时刻的离子的流动状态参数确定当前时刻的静电场方程；根据当前时刻的电子的流动状态参数、第一设定时间段的电子的流动状态参数、当前时刻的重粒子的流动状态参数和第一设定时间段的重粒子的流动状态参数，得到当前时刻的超松弛加速参数；所述第一设定时间段为开始时间为第一时刻，所述第一设定时间段的截止时间为第二时刻，所述第一时刻为步骤“将目标区域划分为多个彼此相接的正交网格”开始的时刻，所述第二时刻为上一时刻；结合超松弛加速方法，根据当前时刻的电子的流动状态参数、当前时刻的重粒子的流动状态参数和当前时刻的超松弛加速参数，得到当前时刻的电子的源项、当前时刻的重粒子的源项、当前时刻的电子的输运系数和当前时刻的重粒子的输运系数；利用有限体积法和半隐式格式，将当前时刻的静电场方程进行离散，得到所述正交网格上的当前时刻的离散形式静电场方程；所述半隐式格式为对电子迁移扩散进行修正的半隐式格式；将当前时刻的电子的流动状态参数、当前时刻的离子的流动状态参数和当前时刻的电子的输运系数代入当前时刻的离散形式静电场方程中并求解，得到当前时刻在所述正交网格上的电势；根据当前时刻在所述正交网格上的电势计算当前时刻在所述正交网格上的电场强度；利用有限体积法、迎风格式和多步长显式欧拉法，将当前时刻的电子流体方程组离散，得到在所述正交网格上的当前时刻的离散形式电子流体方程组；将当前时刻的电子的流动状态参数、当前时刻的电子的源项、当前时刻的电子的输运系数、当前时刻的电势和当前时刻的电场强度代入所述当前时刻的离散形式电子流体方程组中，得到下一时刻的电子的流动状态参数；利用有限体积法和单步长显式欧拉法，将当前时刻的重粒子流体方程组离散，得到在所述正交网格上的当前时刻的离散形式重粒子流体方程组；将当前时刻的重粒子的流动状态参数、当前时刻的重粒子的源项、当前时刻的重粒子的输运系数以及当前时刻的电势和当前时刻的电场强度代入所述当前时刻的离散形式重粒子流体方程组中，得到下一时刻的重粒子的流动状态参数；判断当前时刻是否满足预设终止条件；若满足，则将第二设定时间段内的所述电子的流动状态参数、所述重粒子的流动状态参数、所述电势和所述电场强度确定为所述待模拟容性耦合等离子体源的模拟结果；所述第二设定时间段的开始时间为所述第一时刻，所述第二设定时间段的截止时间为第三时刻，所述第三时刻为满足所述预设终止条件的时刻；若不满足，则将当前时刻的电子的流动状态参数替换为下一时刻的电子的流动状态参数，将当前时刻的重粒子的流动状态参数替换为下一时刻的重粒子的流动状态参数，返回步骤“根据当前时刻的电子的流动状态参数确定当前时刻的电子流体方程组”。

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