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龙图腾网恭喜郑州轻工业大学申请的专利一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371602B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211049651.0，技术领域涉及：G01B15/04；该发明授权一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法是由曹宁;沈斐玲设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法在说明书摘要公布了：本发明属于微纳测量技术领域，具体公开一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法，1.包括以下步骤：步骤1，放置氧化锌样品；对氧化锌样品进行抛光，将抛光面记为X‑Y面，使X‑Y面保持水平向上，将氧化锌样品放入SEM的样品室内；步骤2，获取目标晶界在X‑Y面内的二维轮廓形状和长度；步骤3，对目标晶界轮廓在不同Y值时的高差进行立体高度自动探测；划分Y向的位置点，然后对Y向位置点进行Z向探测，计算高差；步骤4，对目标晶界轮廓在不同X值时的高差进行立体高度自动探测；划分X向的位置点，然后对X向位置点进行Z向探测，计算高差；步骤5，虚拟重构目标晶界的三维长度。

本发明授权一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法在权利要求书中公布了：1.一种SEM耦合纳米机器人Z向高度探测的晶界三维长度自动表征方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，放置氧化锌样品；对氧化锌样品进行抛光，将抛光面记为X-Y面，使X-Y面保持水平向上，将氧化锌样品放入SEM的样品室内；步骤2，获取目标晶界在X-Y面内的二维轮廓形状和长度；步骤3，对目标晶界轮廓在不同Y值时的高差进行立体高度自动探测；划分Y向的位置点，然后对Y向位置点进行Z向探测，计算高差；步骤4，对目标晶界轮廓在不同X值时的高差进行立体高度自动探测；划分X向的位置点，然后对X向位置点进行Z向探测，计算高差；步骤5，虚拟重构目标晶界的三维长度；在步骤2中，获取目标晶界在X-Y面内的二维轮廓形状和长度的方法为：利用SEM对氧化锌样品内的晶界在X-Y面内进行初步成像，然后选择氧化锌样品内的轮廓形状规则的晶界作为目标晶界，再利用SEM对氧化锌样品内的目标晶界在X-Y面内进行第二次单独成像，获取目标晶界在X-Y面内的二维轮廓形状，计算二维轮廓形状的X向长度和Y向长度；在步骤3中，划分Y向位置点的方法为：沿Y方向将目标晶界轮廓等距划分为Y1,Y2,……,Yn的n个不同位置点，将依次通过不同位置点Y1,Y2,……,Yn的n个X-Z面称作面YXZ1,面YXZ2,……,面YXZn，该面YXZ1,面YXZ2,……,面YXZn沿X方向分别与目标晶界的二维轮廓相交两个位置点，该两个位置点依次称作Yx11、Yx21,Yx12、Yx22,……,Yx1n、Yx2n；在步骤4中，划分X向位置点的方法为：沿X方向将目标晶界轮廓等距划分为X1,X2,……,Xn的n个不同位置点，将依次通过不同位置点X1,X2,……,Xn的n个Y-Z面称作面XYZ1,面XYZ2,……,面XYZn，该面XYZ1,面XYZ2,……,面XYZn沿Y方向分别与目标晶界的二维轮廓相交两个位置点，该两个位置点依次称作Xy11、Xy21,Xy12、Xy22,……,Xy1n、Xy2n。

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