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龙图腾网恭喜浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种晶圆切割保护系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115346896B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211003487.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆切割保护系统是由侯军;褚雨露;张楠;贺剑锋;李传友设计研发完成，并于2022-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆切割保护系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆切割保护系统，包括点胶涂覆设备、胶层固化设备、切割设备和胶层去除设备，胶层去除设备包括浸泡清洗装置和旋转喷淋清洗装置，旋转喷淋清洗装置中的清洗箱体设有浸泡腔、第一冲洗腔和第二冲洗腔，浸泡腔与第一冲洗腔之间和所述第一冲洗腔与第二冲洗腔之间均设有闸门，浸泡腔的顶部设有第一喷淋水管，第一冲洗腔的顶部设有第一清洗液喷淋管和第二喷淋水管，第二冲洗腔的顶部设有第二清洗液喷淋管和第三喷淋水管，第二冲洗腔的顶部设有第一氮气喷吹管。本发明解决了晶圆切割保护涂层去除效率低、清除效果差的技术问题。

本发明授权一种晶圆切割保护系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切割保护系统，包括依次设置的点胶涂覆设备、胶层固化设备、切割设备和胶层去除设备，其特征在于，所述胶层去除设备包括依次设置的浸泡清洗装置和旋转喷淋清洗装置，所述旋转喷淋清洗装置包括支架，所述支架上固定安装有清洗箱体，所述清洗箱体的顶部封盖有盖板，所述清洗箱体的底部设有由第一动力机构驱动且竖向升降的升降柱，所述升降柱连接驱动所述升降柱绕回转中心转动的第二动力机构，所述升降柱贯穿所述清洗箱体的底面伸入所述清洗箱体内，所述升降柱的顶端固定安装有回转盘，所述升降柱具有中心通孔，所述回转盘的上表面设有若干个吸盘，所有吸盘与所述中心通孔连通，所述升降柱的底端通过旋转接头连接真空泵；所述清洗箱体自下向上依次设有浸泡腔、第一冲洗腔和第二冲洗腔，所述浸泡腔内盛装有浸泡药液，所述浸泡腔内设有超声发生器，所述浸泡腔与第一冲洗腔之间和所述第一冲洗腔与第二冲洗腔之间均设有闸门，所述闸门包括固定于所述清洗箱体上的闸板，所述闸板上开设有安装槽，所述安装槽中心位置的宽度大于所述回转盘的直径，所述安装槽内设有对开的伸缩节，所述伸缩节的周边与闸板之间设有密封条，所述浸泡腔的顶部设有第一喷淋水管，所述浸泡腔的底部设有第一排液管，所述第一冲洗腔的顶部设有第一清洗液喷淋管和第二喷淋水管，所述第二喷淋水管位于所述第一清洗液喷淋管的上方，所述第一冲洗腔的底部设有第二排液管，所述第二冲洗腔的顶部设有第二清洗液喷淋管和第三喷淋水管，所述第三喷淋水管位于所述第二清洗液喷淋管的上方，所述第二冲洗腔的底部设有第三排液管，所述第一清洗液喷淋管连接第一清洗液储罐，所述第二清洗液喷淋管连接第二清洗液储罐，所述第二冲洗腔的顶部位于所述第三喷淋水管的上方设有第一氮气喷吹管。

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