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龙图腾网恭喜中国科学院大连化学物理研究所申请的专利一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114637170B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210179462.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置是由焦志润;王黑龙设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置。本发明包括装置壳体和设置于所述装置壳体内的声学产生及传播装置，本发明在保证高稳定性和高效率的条件下，将锡液体局部加热部分与声学产生装置分隔开，解决了声学产生装置无法在高温下工作的问题。本发明声学产生装置在锡滴产生装置内部独立安装，可以极大程度上保证外界的微扰减少至最小。此外，小孔的更换非常容易，可以快速在装置外部完成。利用此发明即可实现锡滴极高的空间稳定性极和好的高频重复性，从而为LPP光源提供良好的锡滴束源。

本发明授权一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，包括装置壳体和设置于所述装置壳体内的声学产生及传播装置，所述装置壳体包括主壳体和设置在上的第一端盖板、第二端盖板，所述第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室以及与该腔室相连的小孔盖板，所述存储液态锡的腔室连接有供料管，所述小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节装置，所述集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中加压，得到连续的锡喷射流，所述温度调节装置用于调节第一端盖板的温度，所述声学产生及传播装置的输出端与所述存储液态锡的腔室相连，其用于将连续的锡喷射流变为稳定的锡液滴流，所述声学产生及传播装置配套有主动制冷装置，所述第二端盖板上设有供主动制冷装置连接的通道；所述声学产生及传播装置的输出端通过特制件与第一端盖板上的存储液态锡的腔室相连，所述特制件包括薄膜和尾杆，所述特制件一侧为第一端盖板，另一侧为特制件盖板，声学产生及传播装置的输出端与特制件尾杆进行连接，将产生的声学振动传到特制件薄膜上，从而驱动锡滴产生装置产生稳定的锡滴；所述声学产生及传播装置包括压电陶瓷盖帽、压电陶瓷、压电陶瓷底座以及声学传送杆，所述压电陶瓷的输出端与所述声学传送杆相连，所述压电陶瓷安装在压电陶瓷底座上，所述压电陶瓷盖帽压紧在所述压电陶瓷上。

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