恭喜ASMIP私人控股有限公司森幸博获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利旋转衬底支撑件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113755824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110612556.6，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权旋转衬底支撑件是由森幸博设计研发完成，并于2021-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转衬底支撑件在说明书摘要公布了：一种用于处理衬底的设备可以包括：反应室；衬底支撑件，其设置在反应室内并设置有支撑表面以支撑衬底；以及提供旋转运动的马达，其中马达被控制和配置成在反应室和衬底支撑件之间围绕垂直于支撑表面的轴线产生双向旋转运动。
本发明授权旋转衬底支撑件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理衬底的设备，包括：反应室；衬底支撑件，其设置在反应室内并设置有支撑表面以支撑衬底；以及提供旋转运动的马达，其中马达被控制和配置成在反应室和衬底支撑件之间围绕垂直于支撑表面的轴线产生双向旋转运动，其中所述衬底支撑件设置有电气装置，并且该电气装置通过线连接到所述设备中的站，所述线包括卷曲绳，并且被构造和布置成允许在所述反应室和衬底支撑件之间旋转运动n次左右，其中n=1、2、3…。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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