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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利校准设备和校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115346890B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110526930.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权校准设备和校准方法是由陈鲁;金建高;张鹏斌;张嵩设计研发完成，并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本校准设备和校准方法在说明书摘要公布了：本申请的校准设备用于校准待校准件，校准设备包括承载件和多个定位件。待校准件承载在承载件上；定位件可在预定行程内移动，预定行程包括目标位置，当多个定位件均位于对应的目标位置时，多个定位件围成预定的定位空间，待校准件位于定位空间并与多个定位件均抵触。本申请的校准设备和校准方法通过承载件承载待校准件，通过多个可在预定行程内移动的定位件移动到对应的目标位置，从而使得待校准件被准确地定位到预定的定位空间内，快速完成待校准件的位置校准，使得待校准件在被机械手抓取时位置始终保持不变，从而使得机械手抓取待校准件移动到检测设备上时，待校准件始终位于检测设备上同一预定位置，从而保证了待校准件的检测效果和检测效率。

本发明授权校准设备和校准方法在权利要求书中公布了：1.一种校准设备，其特征在于，用于校准待校准件，所述校准设备包括：承载件，所述待校准件承载在所述承载件上；多个定位件，所述定位件可在预定行程内移动，所述预定行程包括目标位置，当多个所述定位件均位于对应的所述目标位置时，多个所述定位件围成预定的定位空间，所述待校准件位于所述定位空间并与多个所述定位件均抵触；所述定位件包括驱动部和移动部，所述移动部包括定位面，所述驱动部驱动所述移动部在所述预定行程内移动，以改变所述定位空间的形状和大小；所述定位面包括第一定位面和第二定位面，所述定位空间包括第一定位空间和第二定位空间，所述第一定位面围成所述第一定位空间，所述第二定位面围成所述第二定位空间，所述第一定位空间大于所述第二定位空间；所述第一定位面和所述第二定位面之间的距离根据所述第一定位空间和所述第二定位空间的大小确定；所述移动部为阶梯状，每个所述阶梯包括阶梯面和与所述阶梯面对应的定位面，根据阶梯的数量根据所述定位面包含的数量确定；所述承载件包括承载板和多个设置在所述承载板的支撑柱，所述支撑柱包括支撑面，所述承载板包括第一承载部和第二承载部，所述第一承载部包围所述第二承载部，所述支撑柱包括第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱设置在所述第一承载部上，所述第二支撑柱设置在所述第二承载部上，所述第一支撑柱的所述支撑面高于所述第二支撑柱的所述支撑面。

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