恭喜东曹株式会社土田裕也获国家专利权
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龙图腾网恭喜东曹株式会社申请的专利钇铸锭以及使用其的溅射靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115516127B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180030295.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权钇铸锭以及使用其的溅射靶材是由土田裕也;召田雅实;原浩之;松永修设计研发完成，并于2021-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本钇铸锭以及使用其的溅射靶材在说明书摘要公布了：提供可获得微粒产生少的钇溅射靶材和能够得到钇溅射靶材的钇铸锭；所述钇溅射靶材的耐等离子体性高且可得到能够实现高成膜速度的低电阻。一种钇铸锭，其特征在于，以氟原子计的含量为10wt％以下，制成靶材时的溅射面的表面粗糙度为10nm以上且2μm以下，钇铸锭内的直径100μm以上的孔隙数为0.1个cm2以下，相对密度为96％以上。
本发明授权钇铸锭以及使用其的溅射靶材在权利要求书中公布了：1.一种钇铸锭，其特征在于，以氟原子计的含量为0.05wt%以上且10wt%以下，制成靶材时的溅射面的表面粗糙度为10nm以上且2μm以下，钇铸锭内的直径100μm以上的孔隙数为0.1个cm2以下，相对密度为96%以上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东曹株式会社，其通讯地址为：日本山口县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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