恭喜东京毅力科创株式会社田中康基获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利分析装置、分析方法和分析程序产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113390856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110240073.8,技术领域涉及:G01N21/73;该发明授权分析装置、分析方法和分析程序产品是由田中康基;永井龙设计研发完成,并于2021-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本分析装置、分析方法和分析程序产品在说明书摘要公布了:本发明提供基于时序数据组,对制造工艺的处理空间的环境定量地进行评价的分析装置、分析方法和分析程序。分析装置包括:学习部,其使用伴随处理空间中的对对象物的处理而测量的时序数据组进行机器学习,计算表示各测量项目间的、对应的时间范围的时序数据的关联性的值;和评价部,其使用伴随处理空间的在已知环境下对对象物的处理而测量的时序数据组,基于通过由上述学习部进行机器学习而计算出的表示上述关联性的值,对处理空间的未知环境进行评价。
本发明授权分析装置、分析方法和分析程序产品在权利要求书中公布了:1.一种分析装置,其特征在于,包括:学习部,其使用伴随处理空间中的对对象物的处理而测量的时序数据组进行机器学习,计算表示各测量项目间的、对应的时间范围的时序数据的关联性的值;和评价部,其使用伴随处理空间的在已知环境下对对象物的处理而测量的时序数据组,基于通过由所述学习部进行机器学习而计算出的表示所述关联性的值,对处理空间的未知环境进行评价,所述分析装置还包括保存部,其将使用伴随处理空间的在多个已知环境下对对象物的处理而测量的多个时序数据组通过由所述学习部进行机器学习而计算出的表示所述关联性的值,作为表示对应的环境的信息保存,所述评价部判断使用伴随处理空间的在未知环境下对对象物的处理而测量的时序数据组通过由所述学习部进行机器学习而计算出的表示关联性的值,与保存于所述保存部的表示关联性的值的哪个类似,来评价处理空间的未知环境。
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