恭喜卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司D.蔡德勒获国家专利权
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龙图腾网恭喜卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请的专利使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730685B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080081375.9，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构是由D.蔡德勒;G.F.德尔曼;S.舒伯特设计研发完成，并于2020-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构在说明书摘要公布了：本发明包含一方法、一微粒多束显微镜和一半导体结构，以通过微粒多束显微镜的多个微粒束对半导体样品进行充电，并进行高分辨率的电压对比成像，无需切换微粒多束显微镜或移动半导体样品。在这种情况下，由各自具有低的微粒电流的所选微粒束的总和所形成的相加总电流在半导体结构中产生电荷并因此产生电压差。
本发明授权使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构在权利要求书中公布了：1.一种电压对比成像的方法，其使用具有在格栅配置4中的多个个别微粒束3的微粒多束显微镜1，包含：a.通过该多个个别微粒束3以扫描方式扫过具有至少一个可充电结构53、56、59、67、68、69、70、100的样品60，b.以该微粒多束显微镜1的第一数量的第一微粒束3对该样品60充电，c.以该微粒多束显微镜1的第二数量的第二微粒束3来决定在该样品60的该至少一个可充电结构53、56、59、67、68、69、70、100处的电压对比度，其中，步骤b中的充电以及步骤c中的决定该电压对比度同时进行，以及其中，该微粒多束显微镜包含孔径板，其配置为产生多个微粒束；该第一数量的第一微粒束在至少一个特性上不同于该第二数量的第二微粒束；以及该孔径板包括选自由以下构成的组的至少一个构件：不同的孔径开口、通过精细聚焦光学单元的不同的聚焦、以及聚焦阵列。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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