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龙图腾网恭喜科磊股份有限公司申请的专利在扫描及静态模式中的敏感光学计量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114450575B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080067074.0，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权在扫描及静态模式中的敏感光学计量是由A·希尔;A·玛纳森;Y·于齐耶尔;Y·西蒙;G·拉雷多设计研发完成，并于2020-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本在扫描及静态模式中的敏感光学计量在说明书摘要公布了：一种计量系统可包含用于在其中样本上的一或多个计量目标在测量期间静止的静态模式中或其中一或多个计量目标在测量期间处于运动中的扫描模式中选择性地执行计量测量的计量工具及通信地耦合到平移载物台及一或多个检测器中的至少一者的控制器。所述控制器可接收待检验的所述样本上的计量目标的位置，针对使用所述静态模式或所述扫描模式的检验指定所述计量目标，基于所述指定引导所述计量工具在所述静态模式或所述扫描模式中对所述计量目标执行计量测量，及基于对所述计量目标的所述计量测量产生所述样本的计量数据。

本发明授权在扫描及静态模式中的敏感光学计量在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包括：计量工具，其经配置以在其中样本上的一或多个计量目标在测量期间静止的静态模式中或其中一或多个计量目标在测量期间处于运动中的扫描模式中选择性地执行计量测量，其中所述计量工具包括TDI传感器，所述TDI传感器包含多个像素行及多通道成像子系统，所述多通道成像子系统经配置以在检测器的曝光窗口中循序提供用于使样本成像的N个光学配置且在与所述曝光窗口相关联的所述检测器的读出阶段期间产生所述样本的N个图像，其中N是大于1的整数，其中所述N个图像中的特定图像对应于所述N个光学配置中的特定光学配置，其中所述多通道成像子系统的一或多个光学器件包括柱面透镜阵列，其经配置以将从所述样本发出的光引导到所述TDI传感器的每第N个像素行，其中所述计量工具经配置以通过以下各者而执行扫描模式测量：沿垂直于所述像素行的扫描方向按所述TDI传感器的电荷传送速率平移所述样本；循序提供用于使所述样本成像的所述N个光学配置，其中所述多通道成像子系统的连续光学配置之间的切换时间对应于所述TDI传感器的所述电荷传送速率；使用所述TDI传感器在所述曝光窗口期间产生包含所述N个图像的交错图像；及将所述交错图像分离成所述N个图像；及控制器，其通信地耦合到平移载物台及所述TDI传感器，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：接收待检验的所述样本上的多个计量目标的位置；针对使用所述静态模式或所述扫描模式的检验指定所述多个计量目标；基于所述指定引导所述计量工具在所述静态模式或所述扫描模式中对所述多个计量目标执行计量测量；及基于对所述多个计量目标的所述计量测量产生所述样本的计量数据。

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