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龙图腾网恭喜浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112589646B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010608793.0，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置及方法是由朱亮;曹建伟;傅林坚;卢嘉彬;谢永旭;陈明;谢龙辉;张帅设计研发完成，并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置及方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体硅晶片的边缘抛光领域，具体涉及一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置及方法。装置包括柜体，柜体内部在进料口和出料口旁侧对应设有硅晶片上料机械手和下料水槽，柜体外右侧部设有晶圆传送盒、空中行走式无人搬送车和AGV小车；柜体内部侧边上设有直线运动机构，直线运动机构上设有多个硅晶片前后夹持机械手和硅晶片左右夹持机械手；柜体内部的进料口后方的依次设有V‑Notch和平边粗抛装置、V‑Notch和平边精抛装置，下料水槽后方依次设有下料清洗装置、边缘精抛装置和边缘粗抛装置。本发明同时满足两种不同类型的半导体硅晶片的边缘抛光需求，解决硅晶片边缘抛光表面粗糙度一致的问题，同时能够有效保护硅晶片正反表面不受损坏，提升抛片合格率。

本发明授权一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅晶片全自动边缘抛光装置，其特征在于，包括操作面板、柜体、上下料装置、机械手装置和抛光装置；所述柜体为立方形箱体结构，所述上下料装置包括空中行走式无人搬送车和AGV小车；柜体右侧壁上对称开有进料口和出料口，柜体内部在进料口和出料口旁侧对应设有硅晶片上料机械手和下料水槽，柜体外右侧部设有晶圆传送盒、空中行走式无人搬送车和AGV小车；空中行走式无人搬送车用于装置上料，AGV小车用于装置下料；所述机械手装置包括设于柜体内部除右侧其三个侧边上的直线运动机构，直线运动机构上设有多个硅晶片前后夹持机械手和硅晶片左右夹持机械手，所述硅晶片前后夹持机械手包括L形支撑架，支撑架底部通过手爪升降气缸与直线运动机构相连，支撑架侧部设有手爪开闭气缸，手爪开闭气缸与硅晶片夹持滚轮相连，所述手爪开闭气缸上的硅晶片夹持滚轮布置于所述手爪开闭气缸输出端的轴向方向上；所述硅晶片左右夹持机械手包括L形支撑架，支撑架底部通过手爪升降气缸与直线运动机构相连，支撑架侧部设有手爪翻转开闭气缸，手爪翻转开闭气缸与硅晶片夹持滚轮相连，所述手爪翻转开闭气缸上的硅晶片夹持滚轮分别布置于所述手爪翻转开闭气缸输出端的轴向方向的两侧；所述抛光装置包括柜体内部依次设于进料口后方的硅晶片校准器、V-Notch和平边粗抛装置、V-Notch和平边精抛装置和中间清洗装置，所述V-Notch和平边粗抛装置、V-Notch和平边精抛装置结构相同，均包括设于同一个工位上的抛光机构和硅晶片外圆周夹持式机械手；抛光机构包括抛头旋转主轴，抛头旋转主轴下端连接同步带轮，顶端可拆卸连有V-Notch抛光轮或平边抛光轮，抛光轮上覆设有抛光布；同步带轮通过同步带与电机相连，电机能驱动同步带轮正反转，从而带动抛头正反转；所述硅晶片外圆周夹持式机械手包括手爪固定基座和夹持手爪，手爪固定基座底部通过滑块设于手爪进给导轨上，手爪进给导轨上设有手爪进给驱动电机；手爪固定基座底部还设有硅晶片加压气缸和同步带轮，手爪固定基座内顶部设有水平翻转轴，翻转轴一端通过翻转臂连接夹持手爪，另一端通过同步带与同步带轮相连，同步带轮与驱动电机相连；夹持手爪包括支撑块和相对设于支撑块上端面左右两端的前夹持块和后夹持块，前夹持块通过固定支撑柱与支撑块相连，后夹持块连接伸缩杆一端，伸缩杆另一端与设于支撑块下部的气缸相连，硅晶片被夹持在前后夹持块间；抛光装置还包括柜体内依次设于下料水槽后方的下料清洗装置、边缘精抛装置和边缘粗抛装置，所述边缘粗抛装置用于非V-Notch平边部位的粗抛工作，所述边缘精抛装置用于非V-Notch平边部位的边缘精抛工作。

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