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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于确定图案化过程中的图案的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113892059B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080024772.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于确定图案化过程中的图案的方法是由马紫阳;程进;罗亚;郑雷武;郭欣;王祯祥;范永发;陈峰;陈怡吟;张辰骥;卢彦文设计研发完成，并于2020-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于确定图案化过程中的图案的方法在说明书摘要公布了：一种用于训练图案化过程模型的方法，所述图案化过程模型被配置成预测将形成在图案化过程上的图案。所述方法涉及：获得与期望的图案相关联的图像数据，衬底的测量图案，包括第一参数集合的第一模型，和包括第二参数集合的机器学习模型；和迭代地确定所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以训练图案化过程模型。迭代涉及：使用所述图像数据来执行所述第一模型和所述机器学习模型以协作地预测所述衬底的印制图案；和修改所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以使得所述测量图案与所述图案化过程模型的预测图案之间的差减小。

本发明授权用于确定图案化过程中的图案的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于训练图案化过程模型的方法，所述图案化过程模型被配置成预测将形成在图案化过程上的图案，所述方法包括：获得（i）与期望的图案相关联的图像数据，（ii）衬底的测量图案，所述测量图案与所述期望的图案相关联，（iii）与所述图案化过程的第一方面相关联且为对所述图案化过程的所述第一方面进行建模的非机器学习模型的第一模型，所述第一模型包括第一参数集合，和（iv）包括对所述图案化过程的第二方面进行建模的神经网络的机器学习模型，所述机器学习模型包括第二参数集合，其中所述第一方面和所述第二方面彼此不同，且所述第一方面和所述第二方面中的每个方面与曝光后过程相关联且包括：抗蚀剂焙烤、抗蚀剂显影和或蚀刻；和通过神经网络训练过程迭代地确定所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以训练图案化过程模型，其中迭代包括：使用所述图像数据来执行所述第一模型和所述机器学习模型以协作地预测所述衬底的印制图案；和基于所述测量图案与所述图案化过程模型的预测图案，修改所述第一参数集合和所述第二参数集合的值。

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