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龙图腾网恭喜苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司申请的专利晶圆片装片设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110648953B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911007677.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆片装片设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2019-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆片装片设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆片装片设备，其包括：晶圆台，其具有固定晶圆的台面，晶圆台沿竖直方向设置，晶圆台设置于第一平移机构上，第一平移机构驱动晶圆台在竖直面内进行XY运动；取晶装置，其包括：取晶臂、枢转机构，取晶臂由枢转机构驱动在垂直于台面的平面内进行90°的枢转；装片台，其具有固定基板的工作面，装片台沿水平方向设置，装片台设置于第二平移机构上，第二平移机构驱动装片台在水平面内进行XY运动；凸轮机构，其包括凸轮，凸轮分别设置于取晶位置和装片位置处。本发明通过将晶圆台竖直设置，一个取晶臂即可完整取晶和装片动作，其克服了多个臂接力取晶时带来的误差，同时还提高了装片的效率，充分满足了现代化工业生产的装片需求。

本发明授权晶圆片装片设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片装片设备，其特征在于，所述晶圆片装片设备包括：晶圆台，其具有固定晶圆的台面，所述晶圆台沿竖直方向设置，所述晶圆台设置于第一平移机构上，所述第一平移机构驱动所述晶圆台在竖直面内进行XY运动；取晶装置，其包括：取晶臂、枢转机构，所述取晶臂由所述枢转机构驱动在垂直于所述台面的平面内进行90°的枢转；装片台，其具有固定基板的工作面，所述装片台沿水平方向设置，所述装片台设置于第二平移机构上，所述第二平移机构驱动所述装片台在水平面内进行XY运动；凸轮机构，其包括凸轮，所述凸轮分别设置于取晶位置和装片位置处；所述第一平移机构包括：第一底座、供所述第一底座沿X方向滑动的第一导轨、设置于所述第一底座上的第二底座、供所述第二底座沿Y方向滑动的设置于所述第一底座上的第二导轨，所述第一平移机构设置于一竖直方向设置的支架上；所述第二平移机构包括：第三底座、供所述第三底座沿X方向滑动的第三导轨、设置于所述第三底座上的第四底座、供所述第四底座沿Y方向滑动的设置于所述第三底座上的第四导轨，所述第二平移机构设置于一水平方向设置的支架上。

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