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龙图腾网恭喜广东汇成真空科技股份有限公司申请的专利一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111058010B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910913163.1，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备是由李志荣;冯晓庭;魏艳玲;周锐;刘江江;邓石新;黄雄设计研发完成，并于2019-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备在说明书摘要公布了：一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，设有等离子体除残留胶腔室,前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室侧面开了两窗口、一侧设有轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车，小车行走在轨道上、上面设有由立面板和框架组成的密封门托架，立面板上固定着伸向窗口的槽型支承抽屉；离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上；柱状弧光电子源刻蚀装置组件，包括柱状弧光电子源和第二移动小车组件；柱状弧光电子源固定在立面板上；通过移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，使得离子清除残胶高压棒组件和柱状弧光电子源可推入或拉出腔室。本发明除胶效果良好。

本发明授权一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，包括依次前后真空连接的放卷舱1、加热舱10、离子轰击刻蚀舱14a、镀膜舱14b、冷却与箔带张力调整舱15和收卷舱19，其特征是：在所述放卷舱1与加热舱10之间，设有真空离子除残胶舱9，其包括：等离子体除残留胶腔室,为扁形箱体，支承在一等离子体清除残胶腔室机架24上，腔室分为前后两段，前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室的一侧面对应开了前后两个窗口，对应于两个窗口的机架一侧，各设有垂直于机架的轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件I，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车组件，所述第一移动小车组件又包括：移动小车40、密封门托架41和支承抽屉盒41-0，移动小车40的底部安装有滑轮组件行走在所述垂直于机架的轨道上、上面设有由框架和平行于等离子体除残留胶腔室的前段的侧面窗口的立面板组成的密封门托架41，立面板朝向窗口方向的面为密封面与窗口的窗框对应密封设计，立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉盒41-0；包括等离子体清除残胶高压棒42的离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上且位于支承抽屉盒（41-0）内；柱状弧光电子源刻蚀装置组件Ⅱ，包括柱状弧光电子源和与第一移动小车组件相同的第二移动小车组件；包括旋转柱状阴极电弧靶体67的柱状弧光电子源固定在立面板上且位于支承抽屉盒（41-0）内；各自移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，应使得各自安装在移动小车组件上的等离子体清除残胶高压棒42和旋转柱状阴极电弧靶体67从对应的窗口分别推入或拉出等离子体除残留胶腔室。

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