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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利一种基于超薄超表面的中红外光电探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119730466B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510245120.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种基于超薄超表面的中红外光电探测器及其制备方法是由杨家跃;成涛;孙宝乐;赵欢欢;刘林华设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超薄超表面的中红外光电探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于中红外光电探测器技术领域，特别涉及一种基于超薄超表面的中红外光电探测器及其制备方法，首先提供一种基底和元原子材料，进行椭偏测试得到基底和元原子材料的介电函数，将介电函数作为输入带入有限元软件中，对超表面进行理论建模设计，得到合适的超表面尺寸后进行超表面的制作，随后采用椭偏测试对超表面进行不同偏振下的反射率和透射率测试，并采用标准电子束蒸发工艺在超表面上沉积金属层作为电极，最后在光电探测实验中选用CO2激光器来照射超表面。本发明通过优化超表面的结构参数和材料性能实现中远红外宽带吸收、高效光热转换和光电响应，从而解决现有技术中相应波长较短、器件繁重，探测效率不足的问题。

本发明授权一种基于超薄超表面的中红外光电探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于超薄超表面的中红外光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，提供一种极性材料基底；步骤2，提供一种高折射率材料，用来构成基底上方的元原子；步骤3，进行椭偏测试，得到极性基底和顶部的元原子材料的介电函数实部与虚部；步骤4，将椭偏测试获得的介电函数作为输入，带入有限元软件中，对超表面进行理论建模设计，对超表面的几何参数进行选取，实现在长波红外范围内SPhPs共振模式的激发；步骤5，在理论设计得到超表面尺寸后，进行超表面的制作，包括以下子步骤：子步骤5.1在单面抛光的极性衬底上制备样品：首先通过电子束蒸发将不同目标厚度厚的元原子薄膜沉积到衬底上，然后在样品上旋涂PMMA光刻胶，得到PMMA光刻胶层；子步骤5.2，使用电子束光刻系统将设计好的圆盘图案曝光到PMMA光刻胶层上，曝光后对样品进行显影处理，显影后的PMMA光刻胶图案作为掩膜，通过随后的电感耦合等离子体增强反应离子刻蚀工艺刻蚀得到元原子圆盘阵列；子步骤5.3，将得到的超表面浸泡在丙酮溶液中，洗去残留的PMMA光刻胶，得到混合介质超表面；步骤6，采用椭偏测试的方法，对得到的超表面进行不同偏振下的反射率和透射率测试，并根据1-反射率-透射率得到吸收率，对比验证椭偏实验结果和有限元计算结果；步骤7，采用标准电子束蒸发工艺在超表面上沉积金属层作为电极，再通过后期搭建金属线构造环路，装备成为可测器件；步骤8，光电探测实验中选用CO2激光器来照射超表面。

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