恭喜苏州安田丰科技有限公司王炫铭获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州安田丰科技有限公司申请的专利一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119725197B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510230879.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置是由王炫铭;王伟;王静设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆片装盒技术领域,具体公开了一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置,本申请将多个自上而下重叠设置的承载盘分别与收纳盒滑动连接,自下而上逐个对多个承载盘进行滑出操作,并逐步将晶圆片放置于各个承载盘上,使得每个晶圆片在对应的承载盘上取放时,上方空间均不会受到遮挡,多个晶圆片可以一同送入晶圆盒内,反向操作则可以将众多晶圆片一同取出,无需特别关注,可以有效提升众多晶圆片装入或自晶圆盒内取出时的安全性和高效性,并且由于无需在晶圆盒内完成晶圆片的逐个装入或者取出操作,可以将晶圆盒内上下相邻的卡槽设置得更近,有利于提升晶圆盒单位空间内晶圆片的装载量,在一定程度上降低了晶圆片装盒的成本。
本发明授权一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置在权利要求书中公布了:1.一种不接触式晶圆片装取晶圆盒的装置,包括支撑底座(1),其特征在于,所述支撑底座(1)的顶部安装有偏转台(101),且偏转台(101)的顶部右侧滑动安装有收纳盒(102),所述收纳盒(102)的正面固定安装有第一握把(103),所述第一握把(103)的前后两侧端壁上自下而上均匀开设有多个两两对称设置的滑槽(104),前后对称的两个所述滑槽(104)内滑动安装有滑架(105),且滑架(105)的左侧固定安装有承载盘(106),所述承载盘(106)用于托举晶圆片,所述滑架(105)的正面一端固定安装有设置于收纳盒(102)外侧的第二握把(107),所述承载盘(106)的顶部固定安装有多个限位柱(108),所述限位柱(108)用于限制晶圆片移动,每个所述承载盘(106)上均设置有三个等距环绕分布的限位柱(108),所述限位柱(108)的下端设置为圆台形结构;所述偏转台(101)的顶部左侧设置有承载台(2),且承载台(2)的顶部用于放置晶圆盒,所述承载台(2)的前后两侧固定安装有用于锁止晶圆盒的肘夹(201),相邻两个所述承载盘(106)的间距与晶圆盒内相邻两个卡槽的间距相适配,所述偏转台(101)与承载台(2)之间安装有XYZ调整平台(3),所述偏转台(101)的左端转动连接在支撑底座(1)上,所述支撑底座(1)的顶部均匀分布有多个用于水平支撑偏转台(101)的支撑柱(109),且支撑柱(109)由橡胶材料制造而成,所述支撑底座(1)的右侧与偏转台(101)之间安装有角度调整组件(4);每个所述滑槽(104)的左右两端均对应设置有固定安装在收纳盒(102)背面端壁上的限位块(7),每个所述滑架(105)的背面均固定安装有延伸至收纳盒(102)外侧的延伸杆(701),且延伸杆(701)靠近收纳盒(102)一侧的端壁上固定安装有与限位块(7)相适配的卡簧(702)。
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