恭喜四川吉利学院孟雪琴获国家专利权
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龙图腾网恭喜四川吉利学院申请的专利基于人工智能的半导体自动化检测方法及检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119669883B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510188342.9,技术领域涉及:G06F18/2411;该发明授权基于人工智能的半导体自动化检测方法及检测设备是由孟雪琴;傅奕宁设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于人工智能的半导体自动化检测方法及检测设备在说明书摘要公布了:本发明涉及数据处理领域,具体提供一种基于人工智能的半导体自动化检测方法及检测设备,通过获取包括s个按时序排列的监测序列信息的半导体设备运行监测信息,s≥2;获取s个监测序列信息分别对应的专属运行状态表征数组;基于半导体设备运行监测信息中前r个监测序列信息分别对应的专属运行状态表征数组,构建不间断运行状态表征数组;基于不间断运行状态表征数组和第s个监测序列信息对应的专属运行状态表征数组,构建第s个监测序列信息对应的目标运行状态表征数组;基于第s个监测序列信息对应的目标运行状态表征数组,获得第s个监测序列信息对应的设备运行状态。本发明可以提高设备运行状态确定的可理解性和设备运行状态的可靠性。
本发明授权基于人工智能的半导体自动化检测方法及检测设备在权利要求书中公布了:1.一种基于人工智能的半导体自动化检测方法,其特征在于,所述方法包括:获取半导体设备运行监测信息,所述半导体设备运行监测信息包括s个按时序排列的监测序列信息,其中,s≥2;所述半导体设备运行监测信息包括半导体设备在运行期间产生的时序性数据;对所述半导体设备运行监测信息进行预处理,获得预处理后的半导体设备运行监测信息,所述预处理后的半导体设备运行监测信息为完成数据清洗后的信息;基于所述预处理后的半导体设备运行监测信息,获取所述s个监测序列信息分别对应的编码数组表示;基于所述s个监测序列信息分别对应的编码数组表示,获取所述s个监测序列信息分别对应的专属运行状态表征数组,所述专属运行状态表征数组用于表征所述监测序列信息;基于前r个监测序列信息分别对应的专属运行状态表征数组,获取所述前r个监测序列信息分别对应的重要性系数;对所述前r个监测序列信息分别对应的专属运行状态表征数组进行映射变换,获得所述前r个监测序列信息分别对应的映射变换数组;基于所述前r个监测序列信息分别对应的重要性系数,对所述前r个监测序列信息分别对应的映射变换数组进行整合,获得不间断运行状态表征数组,所述不间断运行状态表征数组用于表征所述半导体设备运行监测信息,是对前r个监测序列信息特征的整合,用于体现半导体设备在一个时间段内的连续运行状态,其中,1≤r<s;对所述不间断运行状态表征数组和第s个监测序列信息对应的专属运行状态表征数组进行组合,构建所述第s个监测序列信息对应的目标运行状态表征数组;通过半导体设备状态识别网络,基于所述第s个监测序列信息对应的目标运行状态表征数组作为输入,对所述第s个监测序列信息进行状态识别,输出所述第s个监测序列信息对应的设备运行状态。
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