恭喜深圳市吉祥云科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市吉祥云科技有限公司申请的专利用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119609385B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510166883.1,技术领域涉及:B23K26/364;该发明授权用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本发明涉及光学控制技术领域,公开了一种用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备,其中,该方法包括:通过获取蚀刻规格和蚀刻材料,基于预设激光传导长度、蚀刻长度和蚀刻路径,确认镜片组安装位置,控制光路系统按镜片组安装位置定位每一透反镜片,并在每一透反镜片下侧对应设置准直聚焦组,基于蚀刻深宽度和蚀刻材料对应的材料蚀刻属性,确定每一准直聚焦组中聚焦头的蚀刻速度,控制每一聚焦头按对应的蚀刻速度对目标材料进行蚀刻,可提供无接触式加工,蚀刻线宽小的同时保证高度稳定性和精确性、兼容大幅面极片产品,加工幅面及极片划线宽度不再受聚焦场镜限制,保证生产效率的同时降低成本和后期维护成本。
本发明授权用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种用于极片划线的激光多光束刻蚀控制方法,其特征在于,包括:获取蚀刻规格和蚀刻材料,所述蚀刻规格包括蚀刻深宽度、蚀刻长度和蚀刻路径;基于预设激光传导长度、所述蚀刻长度和所述蚀刻路径,确认镜片组安装位置,包括:获取每一透反镜片的有效传导长度;镜片组安装位置基于所述蚀刻长度和每一所述有效传导长度,获取最优镜片安排顺序作为所述镜片组安装位置;根据镜片组的数量和所述镜片组安装位置,确定每一所述镜片组的镜片透过率,其中,系统中共设四组镜片组,根据镜片的数量及排序位置决定镜片透过率,设定最靠近激光源的第一组镜片为90%,后续每组相邻镜片的透过率分别80%、70%和60%;根据每组镜片所处位置的光场分布特性,调整镜片的曲率、厚度以及镀膜参数,并对光束进行整形;控制光路系统按所述镜片组安装位置定位每一透反镜片,并在每一所述透反镜片下侧对应设置准直聚焦组;基于所述蚀刻深宽度和所述蚀刻材料对应的材料蚀刻属性,确定每一所述准直聚焦组中聚焦头的蚀刻速度;按所述蚀刻路径,控制每一所述聚焦头按对应的蚀刻速度对目标材料进行蚀刻,包括:控制激光组件向镜片组的当前透反镜片输出激光束;按所述镜片组设定的反射率,将所述激光束部分反射的激光束作为当前反射激光束反射至所述当前透反镜片对应的准直聚焦组;按所述镜片组设定的投射率,将所述激光束的部分透射激光束作为当前投射激光束穿透至与所述当前透反镜片相邻的下一透反镜片;根据所述蚀刻路径,所述准直聚焦组中的当前聚焦头采用所述当前反射激光束对所述目标材料进行蚀刻;控制所述下一透反镜片重复执行所述将所述激光束部分反射的激光束作为当前反射激光束反射至所述当前透反镜片对应的准直聚焦组,按所述镜片组设定的投射率,将所述激光束的部分透射激光束作为当前投射激光束穿透至与所述当前透反镜片相邻的下一透反镜片;根据所述蚀刻路径,所述准直聚焦组中的当前聚焦头采用所述当前反射激光束对所述目标材料进行蚀刻的步骤,直至完成准直聚焦组中的所有聚焦头对所述目标材料进行蚀刻。
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