恭喜深圳市晟大光电有限公司王敏军获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市晟大光电有限公司申请的专利一种半导体检测的多光源兼容调控方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119562424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510122587.1,技术领域涉及:H05B47/20;该发明授权一种半导体检测的多光源兼容调控方法及系统是由王敏军;李国鑫设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体检测的多光源兼容调控方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体检测光源控制的技术领域,公开了一种半导体检测的多光源兼容调控方法及系统,本发明获取半导体检测任务的需求特征和光源模块的性能参数,根据任务需求和模块性能解析光源配置方案,根据配置方案调度光源单元切换至工作模式进行半导体照射,持续采集工作光源单元的质量特征并与预设标准进行对比以进行光源切换方案分析与执行,实现光源单元的平稳过渡,平滑转换光源单元至交接模式和转让模式,实现多光源兼容调控,通过渐进过渡避免光源切换的不稳定性,确保光源质量稳定,不同光源单元间实现无缝协作,增强系统的兼容性和可靠性,自动化调控提升了操作效率,解决了现有技术中单一光源持续提供高精度光照容易出现检测误差的问题。
本发明授权一种半导体检测的多光源兼容调控方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体检测的多光源兼容调控方法,其特征在于,包括:获取半导体检测任务的执行需求特征和预备执行半导体检测任务的检测光源模块的模块性能参数;其中,所述检测光源模块具有若干光源单元;根据所述模块性能参数对所述执行需求特征进行任务解析处理,以得到所述检测光源模块对应所述半导体检测任务的光源参数配置方案;根据所述光源参数配置方案对所述检测光源模块进行模块参数配置,以调度所述检测光源模块中指定的光源单元切换至工作模式,以对所述半导体检测任务所对应的待检测半导体进行光源照射;对所述检测光源模块的工作参数进行持续地采集与分析,以得到所述检测光源模块中处于工作模式的所述光源单元的光源质量特征;根据预设标准对所述光源质量特征进行判断,当判断结果显示所述光源质量特征达到预设标准时,根据所述光源参数配置方案与所述模块性能参数对所述检测光源模块进行光照工作执行单元的渐进转换方案分析,以得到所述检测光源模块的光源切换方案;根据所述光源切换方案对所述检测光源模块中指定的光源单元切换至交接模式,对处于工作模式的光源单元切换至转让模式,以使得处于转让模式的光源单元和处于交接模式的光源单元进行光照工作的渐进转换,从而实现所述检测光源模块的多光源兼容调控。
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