恭喜江西联创光电超导应用有限公司钟巧明获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西联创光电超导应用有限公司申请的专利磁场测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119222474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411756543.6,技术领域涉及:F16M13/02;该发明授权磁场测量装置是由钟巧明;蒋国忠;马韬;胡磊;余俊伟;郭水根;樊云云;李芳昕设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁场测量装置在说明书摘要公布了:本申请涉及单晶硅生长炉技术领域,尤其涉及一种磁场测量装置,磁场测量装置,包括支撑部件、传动机构和测量组件,支撑部件用于与待测磁体连接;传动机构设置于支撑部件上;测量组件设置于支撑部件上,与传动机构连接,测量组件在传动机构的带动下能够沿预设路径移动以测量待测磁体周围的磁场。本申请的磁场测量装置能够准确地找到单晶硅生长炉磁场中的各个位置点,并分别测量预设位置各个位置点的磁场,为单晶硅生长工艺提供准确可靠的磁场参数,有利于提高测量机构的测量准确率和测量效率。
本发明授权磁场测量装置在权利要求书中公布了:1.一种用于单晶硅生长炉的磁场测量装置,其特征在于,所述单晶硅生产炉呈环筒状,所述磁场测量装置包括:支撑部件,所述支撑部件包括第一连杆和第二连杆,所述第一连杆具有第一端和第二端,所述第一连杆的第一端与所述单晶硅生长炉连接,所述第二连杆具有第三端和第四端,所述第二连杆的第三端与所述第一连杆的第二端转动连接;当第二连杆转动至第一连杆的下方,可用于测量单晶硅生长炉坩埚壁位置的磁场大小;当第二连杆转动至第一连杆的上方,可用于测量单晶硅生长炉上方位置的磁场大小;传动机构,设置于所述第一连杆、所述第二连杆上;测量组件,与所述传动机构连接,所述测量组件在所述传动机构的带动下能够沿预设路径移动以测量所述单晶硅生长炉周围的磁场;所述传动机构包括:第一转轴,设置于所述第一连杆的所述第一端,所述第一转轴上套设有第一带轮;第二转轴,设置于所述第一连杆的所述第二端,所述第二转轴上套设有第二带轮和第三带轮;第三转轴,设置所述第二连杆的所述第四端,所述第三转轴上套设有第四带轮;第一同步带,绕设于所述第一带轮与所述第二带轮上;第二同步带,绕设于所述第三带轮与所述第四带轮上;所述第一同步带上设置有刻度;所述支撑部件还包括:第一支座,设置于所述第一连杆靠近所述第二端的位置;第二支座,设置于所述第二连杆靠近所述第三端的位置,所述第二支座与所述第一支座通过销轴转动连接,所述销轴与所述第二转轴同轴设置;紧固件,分别与所述第一支座、所述第二支座可拆卸连接,用于对所述第二支座相对于所述第一支座的位置进行限位;固定座,所述固定座与所述第一连杆滑动配合,所述固定座与所述单晶硅生长炉可拆卸连接;固定座的下方开设有固定槽,固定槽的相对设置的两个内侧壁的其中一个为弧形面;固定座的两侧分别还设置有导向沿,第一连杆设置于两侧的导向沿之间,以防止第一连杆偏离单晶硅生长炉的径向;锁止件,分别与所述固定座、所述第一连杆可拆卸连接,用于对所述第一连杆相对于所述固定座的位置进行限位;在固定座、第一连杆上分别开设有多个孔位,通过将第一连杆移动到所需要的孔位,使固定座与第一连杆在对应的孔位处通过所述锁止件实现连接,以使第二连杆处于单晶硅生长炉坩埚壁或单晶硅生长炉上方的不同位置。所述测量组件包括:随动块,设置于所述第二同步带上;磁场探头,设置于所述随动块上,用于测试所处位置的磁场强度;导向体,所述导向体与所述随动块连接,所述导向体具有导向槽,所述导向槽的内壁与所述第二连杆的表面滑动配合。在第二支座上设置指针,在第一支座上设置旋转标尺,通过控制第二支座相对于第一支座的转动角度,来辅助计算测量组件对应在第二连杆上的位置,进而获知测量组件在单晶硅生长炉内的具体位置以及在单晶硅生长炉上方的具体位置。
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