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龙图腾网恭喜滁州华瑞微电子科技有限公司申请的专利一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119314847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411391441.9，技术领域涉及：H01J37/20；该发明授权一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机是由胡振华;高峰设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机在说明书摘要公布了：本申请公开了一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机，涉及离子注入设备技术领域，本申请通过在靶盘上增设带状的软垫，使得带状软垫紧贴夹紧块距离晶圆最近的面上，并在带状软垫的两端设置滚筒，令滚筒转动连接在靶盘上；设置多个轴向与靶盘的厚度方向的换向轮引导带状软垫的方向并配合两滚筒保障带状软垫始终处于绷直状态；需要更换接触晶圆及抵触体的软垫时，控制滚筒转动，实现带状软垫整体移动；实现了离子注入机具备安全便捷高效的自动更换靶盘上软垫的功能且更换过程不会影响生产线正常运行的技术效果。

本发明授权一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机在权利要求书中公布了：1.一种带有靶盘扫描运动机构的离子注入机，包括离子源、靶盘组件100、靶盘移位组件200；其特征在于：所述靶盘组件100包括靶盘主体110、夹紧组件、换向轮130和隔垫更换组件；所述靶盘主体110为板状，顶部中心设有中心槽111；所述夹紧组件定位在靶盘主体110的顶面上，为呈辐射状排列的导轨与夹紧块的组合或伸缩杆体121；夹紧组件与隔垫更换组件直接接触的位置定位有抵触体；所述换向轮130转动连接在靶盘主体110的顶面上，数量为多个；所述隔垫更换组件包括带形隔垫141、第一筒142和第二筒143；所述带形隔垫141抵触着所有的换向轮130及抵触体，两端分别缠绕定位在第一筒142和第二筒143上；带形隔垫141紧贴抵触体距离晶圆最近的面；所述第一筒142和第二筒143绕自身轴线转动连接在所述靶盘主体110的顶面上，二者和带形隔垫141在靶盘主体110的顶面上围成一个圈；换向轮130引导带形隔垫141的方向并配合第一筒142和第二筒143保障带形隔垫141始终处于绷直状态；需要更换接触晶圆及抵触体的带形隔垫141时，控制第一筒142和第二筒143转动，实现带形隔垫141整体移动。

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