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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利具有顶杆组件的晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222850075U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421896141.1，技术领域涉及：G01D11/00；该实用新型具有顶杆组件的晶圆检测系统是由钟金成;彭超杰设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有顶杆组件的晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种具有顶杆组件的晶圆检测系统。晶圆检测系统包括：支撑架、顶杆组件、多个轨道组件及卡盘，支撑架有放置槽；顶杆组件设于放置槽，顶杆组件包括顶杆板及多个顶杆，顶杆板滑动连接支撑架，多个顶杆设置于顶杆板；轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件且环绕支撑架的外周设置，第一轨道件设于支撑架的外周，第二轨道件穿设于支撑架并连接顶杆板且与第一轨道件滑动连接；当第二轨道件与第一轨道件沿预设方向滑动时，带动顶杆组件沿预设方向滑动；卡盘设于支撑架且有通孔，通孔与顶杆对应，当顶杆板靠近放置槽的底壁，顶杆收容于放置槽，当顶杆板背离放置槽的底壁，顶杆穿设于通孔且凸出于卡盘。晶圆检测系统便于对轨道组件进行维护。

本实用新型具有顶杆组件的晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种具有顶杆组件的晶圆检测系统，其特征在于，所述晶圆检测系统包括：支撑架，所述支撑架具有放置槽；顶杆组件，所述顶杆组件设置于所述放置槽，且可沿预设方向滑动连接所述支撑架，所述顶杆组件包括顶杆板及多个顶杆，所述顶杆板可沿预设方向滑动连接所述支撑架，多个顶杆间隔设置于所述顶杆板背离所述放置槽底壁的一侧；多个轨道组件，所述多个轨道组件环绕所述支撑架的外周间隔设置，所述轨道组件包括第一轨道件及第二轨道件，所述第一轨道件设置于所述支撑架的外周，所述第二轨道件部分位于所述第一轨道件背离所述支撑架的一侧，且与所述第一轨道件沿预设方向可滑动连接，所述第二轨道件部分穿设于所述支撑架并连接所述顶杆板，当所述第二轨道件相对所述第一轨道件沿预设方向滑动时，带动所述顶杆组件沿预设方向相对所述支撑架滑动；以及卡盘，所述卡盘设置于所述顶杆板背离所述放置槽底壁的一侧且设置于所述支撑架上，所述卡盘具有间隔设置的多个通孔，每个所述通孔用于穿设一个所述顶杆，不同的通孔用于穿设不同的顶杆，当所述顶杆板靠近所述放置槽的底壁时，所述多个顶杆收容于所述放置槽，当所述顶杆板背离所述放置槽的底壁时，所述多个顶杆穿设于所述通孔且凸出于所述卡盘背离所述支撑架的一侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市森美协尔科技有限公司，其通讯地址为：518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。