森科五金(深圳)有限公司汪达文获国家专利权
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龙图腾网获悉森科五金(深圳)有限公司申请的专利一种超硬耐磨薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118957521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411050578.8,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种超硬耐磨薄膜及其制备方法是由汪达文;鲁巨涛;陈丽影设计研发完成,并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超硬耐磨薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请涉及防护硬质薄膜领域,具体公开了一种超硬耐磨薄膜及其制备方法。该超硬耐磨薄膜为碳化钽掺杂铬、硅、氮组成的多层复合薄膜,该多层复合薄膜的整体厚度为2.0‑3.6μm,表面硬度不小于1300HV。本申请的超硬耐磨薄膜通过选择铬、硅、氮这些元素与碳化钽配合,同时结合多层结构的设计,能够具有较高的表面硬度和耐磨性,可以满足市场日益严苛的需求。
本发明授权一种超硬耐磨薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种超硬耐磨薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在气压为0.15-0.25Pa,偏压为98-102V,惰性气体保护的条件下,向基材表面沉积纯Cr层,沉积时间为25-35分钟;调节偏压为118-122V,向纯Cr层表面沉积Ta-CrSiN层,沉积时间为25-35分钟;调节偏压为138-142V,向Ta-CrSiN层表面沉积第一CrSiCN层,沉积时间为20-30分钟,调节偏压为158-162V,向所述第一CrSiCN层表面沉积第二CrSiCN层,沉积时间为95-105分钟,调节偏压为178-182V,向所述第二CrSiCN层表面沉积第三CrSiCN层,沉积时间为95-105分钟;所述第三CrSiCN层的表面成分包括Si65-70wt%,Cr15-25wt%,C10-15wt%和N5-10wt%。
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