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龙图腾网恭喜中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115420203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211000524.1，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法是由邵建达;王建国;易葵;刘世杰;田云先;徐天柱;刘昶;潘靖宇;邵淑英设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法在说明书摘要公布了：一种半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法，本发明能够有效地评估谐振子膜厚的整体均匀性分布，避免重复试验，节省了成本，在半球谐振子加工、调试领域具有重要应用。

本发明授权半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法在权利要求书中公布了：1.一种半球谐振子金属化镀膜均匀性的评估方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1将镀膜前的半球谐振子1的支撑杆垂直地固定在装有夹具的转台2上，该转台整体放置在真空腔室3内，在所述的半球谐振子1的侧边安装有压电陶瓷驱动的橡胶小锤子4，所述的真空腔室3整体放置在减震气浮平台上，在所述的气浮平台上架设一激光测振仪6，使所述的激光测振仪6发出的激光光斑通过所述的真空腔室3的窗口7水平垂直地入射到所述的半球谐振子1的唇沿表面，所述的激光测振仪6的另一端与计算机8的输入端相连，所述的计算机8的控制端经一控制器5与所述的橡胶小锤子4相连；2所述的计算机8通过所述的控制器5控制所述的橡胶小锤子4以一定的冲击力对所述的半球谐振子1进行敲击激振，同时，所述的激光测振仪6输出的激光光斑与所述的半球谐振子1的唇沿接触后发生多普勒效应而改变频率，并被所述的半球谐振子1反射形成反射光信号，该反射光信号被所述的激光测振仪6接收后输入所述的计算机8；3所述的计算机8对反射光信号进行数据分析，得到所述的半球谐振子1的振动速度随时间的衰减曲线，基于此结果分析计算所述的半球谐振子1的振动频率f0和衰减时间τ，进而获得所述的半球谐振子1的品质因子Q1；4通过所述的转台2对所述的半球谐振子1进行位置调整，依次测量所述的半球谐振子1唇沿其他位置的品质因子Q2、Q3、……、QN,其中，N为所述的半球谐振子1唇沿圆周方向的测量点数，可获得N个等角度位置变化的半球谐振子1唇沿圆周方向的Q值曲线；5对所述的半球谐振子1进行超声波清洗后进行金属化镀膜；6将金属化镀膜后的半球谐振子1的支撑杆垂直地固定所述的转台2上，按步骤1调整所述的金属化镀膜后的半球谐振子1的位置，并按步骤2、3、4对金属化镀膜后的半球谐振子1唇沿圆周方向N个位置进行测量，分别获得值Q′1、Q′2、Q′3……Q′N，所述的计算机8将各个测量点在镀膜前后的Q值变化量ΔQ进行差分计算，ΔQi＝Qi-Qi′，分别获得Q值变化量ΔQ1、ΔQ2、ΔQ3……ΔQN，在半球谐振子在唇沿圆周方向的镀膜前后的Q值变化曲线；7对圆周方向的镀膜前后的Q值变化曲线进行统计分析，对于超过1个标准偏差σ的测量结果进行分析，重点分析介于-3σ～-2σ和2σ～3σ区间的数据点，前者体现了对应测量位置的膜层相比平均膜厚偏厚，而后者体现了对应测量位置的膜厚相比平均膜厚偏薄。

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