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龙图腾网恭喜中国科学院电工研究所申请的专利一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115166810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210786535.0，技术领域涉及：G01T1/29；该发明授权一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法是由赵伟霞;张利新;刘俊标;王岩;邓晨晖;殷伯华;王鹏飞;马玉田;韩立设计研发完成，并于2022-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及电子束测量技术领域，具体涉及一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。一种电子束参数测量装置，包括：微器件阵列结构多层板，所述多层板上设有多个阵列分布的法拉第杯组件，每个所述法拉第杯组件包括同轴设置的至少两个法拉第杯，至少两个所述法拉第杯贯通设置，电子束经上层所述法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每层所述法拉第杯的电子束束流大小，以得到所述电子束的相应参数。本发明提供了一种可快速测量的电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。

本发明授权一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法在权利要求书中公布了：1.一种电子束参数测量方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述电子束垂直朝向多层板（11）的法拉第杯组件（10）照射，使得所述电子束依次经上层法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每个所述法拉第杯组件（10）中每层所述法拉第杯的电子束束流大小I1i和I2i，以得到所述电子束的相应参数，根据下述公式得到进入每个所述法拉第杯组件（10）中的电子束的倾斜角θi，i=1,2,3,…,N，单位为rad，所述电子束的束斑直径、所述电子束的束流I、所述电子束的发散角α、束流密度J、角束流密度Jα和束流密度分布Ji， Maxθi,i=1,2,3,…,N ，i=1,2,3,…,N d为光阑板的第一通孔直径； D为杯体的内径； h为第三通孔上平面至第一通孔上平面的距离； 为第i个法拉第杯组件中的电子束在上层法拉第杯中束流大小； 为第i个法拉第杯组件中的电子束在下层法拉第杯中束流大小； N为法拉第杯的个数； p为相邻两个杯体的中心间距。

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