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龙图腾网恭喜北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114993157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210561140.0，技术领域涉及：G01B7/06；该发明授权一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法是由李婷;张康;李坤;崔云承;尹影;张为强;白琨设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法，电涡流传感器，包括：激励模块，包括激励线圈、磁芯和第一电容，磁芯包括容纳部、束口部和缠绕部，容纳部和束口部连接以形成一放置腔，缠绕部设置在放置腔内，激励线圈绕设于缠绕部上，束口部远离容纳部的一侧的开口小于靠近容纳部的一侧的开口；接收模块，包括接收线圈和第二电容，接收线圈设置于束口部远离容纳部的一侧的开口处。该电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法相较于现有技术，在晶圆边缘处衰减区域更窄、膜厚监测更精确，有效避免因边缘效应带来的厚度监测数据失真，提升加工准确性，拓展了晶圆可利用区域。

本发明授权一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种金属膜厚度监测系统，其特征在于，包括波形发生模块、信号采集及处理模块、主控模块和电涡流传感器，所述电涡流传感器包括激励模块和接收模块；所述波形发生模块，输入端和所述主控模块连接，用于输出两个幅值大小相等、方向相反的第一交流信号和第二交流信号；所述激励模块，包括磁芯以及由激励线圈和第一电容构成的第一LC振荡回路，所述磁芯包括容纳部、束口部和缠绕部，所述容纳部和束口部连接以形成一放置腔，其中，所述束口部远离所述容纳部的一侧的开口和所述容纳部的距离越远，开口越小，所述缠绕部设置在所述放置腔内，所述激励线圈绕设于所述缠绕部上，所述束口部远离所述容纳部的一侧的开口小于靠近所述容纳部的一侧的开口，所述第一LC振荡回路的输入端和所述波形发生模块的一个输出端连接，用于接收所述第一交流信号，基于所述第一交流信号激励被测金属膜产生交变磁场并输出第一输出信号；所述接收模块，包括由接收线圈和第二电容构成的第二LC振荡回路，所述接收线圈设置于所述束口部远离所述容纳部的一侧的开口处，所述第二电容和所述接收线圈连接以形成所述第二LC振荡回路，所述第二LC振荡回路的输入端和所述波形发生模块的另一个输出端连接，用于接收被测金属膜产生的交变磁场和所述第二交流信号，并基于所述第二交流信号和交变磁场输出第二输出信号；所述信号采集及处理模块，一个输入端和所述激励模块连接，另一个输入端和所述接收模块连接，用于采集所述第一输出信号以及所述第一输出信号与所述第二输出信号的差值信号，并将采集的信号输出至所述主控模块；所述主控模块，用于控制所述波形发生模块输出第一交流信号和第二交流信号，以及根据所述第一输出信号和所述差值信号计算得到被测金属膜厚度。

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