恭喜绍兴同芯成集成电路有限公司严立巍获国家专利权
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龙图腾网恭喜绍兴同芯成集成电路有限公司申请的专利一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111672126.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法是由严立巍;符德荣;陈政勋设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法，包括以下步骤：1将超薄晶圆基板置于带喷气机构的机械臂上，通过机械臂吹气使超薄晶圆基板悬浮于机械臂上方；2使用带夹持机构的机械臂夹持凹槽式载板，将凹槽式载板的凹面朝下，由上方与超薄晶圆基板对准，然后将超薄晶圆基板与凹槽式载板嵌合；3嵌合完成后，夹持机械臂和喷气机械臂整体翻转180°，完成超薄晶圆基板置入载盘，移走喷气机械臂即可。本发明利用伯努利原理由下向上吹平超薄晶圆基板并使其悬浮，然后将超薄晶圆基板嵌合入载盘的凹槽中，实现薄晶圆基板置入凹槽型载盘，同时防止了超薄晶圆基板的翘曲，以便进行后续的晶圆制程。
本发明授权一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法在权利要求书中公布了：1.一种超薄晶圆置入凹槽型载盘的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将超薄晶圆基板置于带喷气机构的机械臂上，通过机械臂吹气使超薄晶圆基板悬浮于机械臂上方；步骤2、使用带夹持机构的机械臂夹持凹槽式载板，将凹槽式载板的凹面朝下，由上方与超薄晶圆基板对准，然后将超薄晶圆基板与凹槽式载板嵌合；步骤3、嵌合完成后，夹持机械臂和喷气机械臂整体翻转180°，完成超薄晶圆基板置入载盘，移走喷气机械臂即可；所述步骤1中带喷气机构的机械臂运用伯努利原理吹平翘曲的超薄晶圆基板并使之悬浮；所述步骤2中凹槽式载盘的凹槽底部开设有均匀分布的小孔，避免嵌合时因气流分布不均造成应力不均。
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