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龙图腾网恭喜上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113725145B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111090818.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具是由吴功;倪萌设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆转移机械臂，包括：晶圆夹具，晶圆夹具包括限位装置和至少一个托爪盘，托爪盘上设置有至少两个托爪块，限位装置包括推杆和驱动机构，驱动机构用于驱动推杆朝向收容空间水平移动，以使得位于收容空间内的晶圆边缘被夹持于推杆和托爪块之间；和机械臂本体，晶圆夹具设置于机械臂本体上，机械臂本体用于带动晶圆夹具平移和或旋转。本发明通过设置限位装置，将位于收容空间内的晶圆夹持限位在推杆和托爪块之间，从而避免晶圆夹具在带动晶圆移动过程中，晶圆因惯性在收容空间内晃动，甚至脱离收容空间，从而提高了晶圆转移的安全性，并且有利于提高晶圆转移速度。

本发明授权晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆转移机械臂，其特征在于，包括：晶圆夹具，所述晶圆夹具包括限位装置和至少一个托爪盘，所述托爪盘上设置有至少两个托爪块，所述托爪块为阶梯状，且包括至少一组相互连接的承托面和限位面，以形成至少一用于容纳并承托晶圆的收容空间，所述承托面用于承托所述晶圆，所述承托面水平设置，或所述承托面相对水平面朝向所述托爪盘以及所述收容空间中心的方向倾斜设置，所述限位面用于限制所述晶圆水平移动，所述限位面沿所述托爪块的高度方向并朝向所述收容空间外部延伸，且同一所述收容空间的相邻两所述限位面的之间的最小距离小于所述晶圆的直径，所述限位装置包括推杆和驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述推杆朝向所述收容空间水平移动，以使得位于所述收容空间内的所述晶圆边缘被夹持于所述推杆和所述托爪块之间；和机械臂本体，所述晶圆夹具设置于所述机械臂本体上，所述机械臂本体用于带动所述晶圆夹具平移和或旋转；并且，所述托爪盘上设置有四个呈一矩形排布的所述托爪块，四个所述托爪块位于同一平面上，且弧度相同，并且满足： 其中，D为收容空间的直径，d为待收容晶圆的直径，x1为收容空间在直径上的容错距离，x2为所述晶圆在原载具中的水平偏移距离，w1为所述承托面在水平面上正投影的宽度，w2为所述限位面在水平面上正投影的宽度。

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