恭喜ASML荷兰有限公司约斯特·安德烈·克鲁格斯特获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利透射型扩散器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080071117.2，技术领域涉及：G02B5/02；该发明授权透射型扩散器是由约斯特·安德烈·克鲁格斯特;A·尼基帕罗夫;W·J·恩格伦;廉晋;保罗·亚历山大·维梅伦;哈利勒·戈凯·叶根设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本透射型扩散器在说明书摘要公布了：一种扩散器，所述扩散器被配置成接收和透射辐射。所述扩散器包括散射层510，所述散射层被配置成散射所接收的辐射，所述散射层510包括第一物质且具有在其中分布的多个空隙。所述第一物质可以是散射物质，或替代地，所述空隙中的至少一个空隙可以包含所述散射物质，并且所述第一物质具有与所述散射物质相比更低的折射率。
本发明授权透射型扩散器在权利要求书中公布了：1.一种被配置成接收和透射辐射的扩散器，其中所述扩散器包括：散射层，所述散射层被配置成散射所接收的辐射，所述散射层包括第一物质且具有在其中分布的多个空隙，其中：所述第一物质是散射物质，或所述空隙中的至少一个空隙包含散射物质且所述第一物质具有与所述散射物质相比更低的折射率；并且其中所述第一物质和所述空隙包括全息干涉图案，选择所述全息干涉图案以在给出期望的波长的辐射的情况下形成全息图，且所述全息图具有角强度分布，所述角强度分布是具有与所述全息图的径向外部部分相比在中心区中的较低的强度的顶帽形分布，所述全息图的所述径向外部部分与所述全息图的中心在角度上间隔开至少9°。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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