恭喜华芯程(杭州)科技有限公司孙鹏飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利光学邻近预修正方法、装置、介质、程序产品及终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119200320B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411733380.X，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权光学邻近预修正方法、装置、介质、程序产品及终端是由孙鹏飞;吴志强;洪鼎易设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学邻近预修正方法、装置、介质、程序产品及终端在说明书摘要公布了：本申请提供光学邻近预修正方法、装置、介质、程序产品及终端，通过获取一层或多层待修正版图，提取对应的图形参数和锚点参数，并对每层有桥接风险的周期性图形中的图形元素进行预修正，以生成预修正版图。本申请有效避免桥接现象，确保晶圆图案的完整性及电路功能正常；同时提高OPC修正效率，优化光学邻近效应补偿，显著减少修正所需时间与资源，提升生产效率；此外，还扩大了工艺窗口，提升了修正精度和稳定性，降低了缺陷率；降低了工艺风险的同时，提高了最终产品的质量。
本发明授权光学邻近预修正方法、装置、介质、程序产品及终端在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近预修正方法，其特征在于，所述方法包括：获取一层或多层待修正版图，其中每层待修正版图中包含一个由多个图形元素组成的周期性图案；从每层待修正版图中提取出对应的周期性图形的图形参数和锚点参数；周期性图形的图形参数包括：周期性图形的线宽和间距；周期性图形的锚点参数包括：锚点线宽和锚点间距；基于所述图形参数和锚点参数，对每层的周期性图形中每个已识别为具有桥接风险的图形元素进行预修正，包括：根据所述图形参数和锚点参数，计算每个图形元素边缘上每个点的平移距离；根据计算所述平移距离，将对应图形元素沿预设方向进行平移，以生成预修正版图。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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