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龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利金属线的光刻检测方法、装置、介质及终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119179240B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411697735.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权金属线的光刻检测方法、装置、介质及终端是由吴志强;张艾莎;孙鹏飞设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属线的光刻检测方法、装置、介质及终端在说明书摘要公布了：本申请提供一种金属线的光刻检测方法、装置、介质及终端，该方法包括：对获得的设计版图进行OPC修正，得到修正后的版图；基于修正后的版图，确定需检测的金属线图形；对修正后的版图进行光刻模拟，以得到需检测的金属线图形对应的金属线光刻模拟图形；对金属线光刻模拟图形执行基于曲率的分区域检测操作，以得到满足金属线图形要求的修正版图。本申请通过基于曲率的分区域检测操作，实现了更加全面的金属线图形检测，提高了检测精度。

本发明授权金属线的光刻检测方法、装置、介质及终端在权利要求书中公布了：1.一种金属线的光刻检测方法，其特征在于，包括：对获得的设计版图进行OPC修正，得到修正后的版图；基于修正后的版图，确定需检测的金属线图形；对修正后的版图进行光刻模拟，以得到需检测的金属线图形对应的金属线光刻模拟图形；对所述金属线光刻模拟图形执行基于曲率的分区域检测操作，以得到满足金属线图形要求的修正版图；其中，对所述金属线光刻模拟图形执行基于曲率的分区域检测操作，以得到满足金属线图形要求的修正版图，包括：获取所述金属线光刻模拟图形的边缘曲率分布；根据所述边缘曲率分布，确定第一检测范围以及第二检测范围；基于第一检测范围，对所述金属线光刻模拟图形进行面积比值检测，并基于第二检测范围，对所述金属线光刻模拟图形进行对边尺寸检测；当获得了通过面积比值检测的结果以及通过对边尺寸检测的结果时，将修正后的版图输出为满足金属线图形要求的修正版图；基于第一检测范围，对所述金属线光刻模拟图形进行面积比值检测的具体过程包括：基于计算的金属线光刻模拟图形在第一检测范围内的面积以及设计版图在第一检测范围内的面积，获得第一检测范围的面积比值；当所述第一检测范围的面积比值小于设定的面积阈值时，获得未通过面积比值检测的结果；当所述第一检测范围的面积比值不小于设定的面积阈值时，获得通过面积比值检测的结果；基于第二检测范围，对所述金属线光刻模拟图形进行对边尺寸检测的具体过程包括：按照设定的步长，在金属线光刻模拟图形在第二检测范围内的边缘上选取多个评估点对，并测量每个评估点对的距离；当至少一个评估点对的距离小于设定的对边尺寸阈值时，获得未通过对边尺寸检测的结果；当所有评估点对的距离均不小于设定的对边尺寸阈值时，获得通过对边尺寸检测的结果。

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