买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种晶圆加工用高温退火冷却设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119153371B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411649497.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆加工用高温退火冷却设备是由曹晓光;李峰;邵秋新设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工用高温退火冷却设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆退火技术领域，公开了一种晶圆加工用高温退火冷却设备，包括进料箱，所述进料箱的内部开设有冷却腔，所述进料箱的前端面并且和冷却腔相连通开设有进料口，所述冷却腔的下端竖直安装有升降气缸，所述升降气缸的内部向上活动设置有升降杆，所述升降杆伸入冷却腔内。本发明所述的一种晶圆加工用高温退火冷却设备，设计真空抽吸泵，第一对退火室抽真空，便于惰性气体进入作为保护气；第二真空抽吸泵抽吸的空气通过第一进气管注入到环形气囊内，使环形气囊充气，跟密封板的外边沿充分接触，加强密封作用，使退火室处于密封状态；第三真空抽吸泵抽吸的空气通过第二进气管注入到储气罐内，作为喷吹的备用气体，达到节能的作用。

本发明授权一种晶圆加工用高温退火冷却设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用高温退火冷却设备，包括进料箱（1），其特征在于：所述进料箱（1）的内部开设有冷却腔（2），所述进料箱（1）的前端面、和冷却腔（2）相连通处开设有进料口（3），所述冷却腔（2）的下端竖直安装有升降气缸（10），所述升降气缸（10）的内部向上活动设置有升降杆（11），所述升降杆（11）伸入冷却腔（2）内，所述升降杆（11）的顶部焊接有密封板（12），所述密封板（12）的上端面中间位置处连接有接料杆（13），所述接料杆（13）供晶圆片（14）平放；所述进料箱（1）的上端中间位置处设置有退火炉（4），所述退火炉（4）的内部开设有退火室（5），所述退火室（5）和冷却腔（2）之间开设有连接通口（15），所述连接通口（15）供密封板（12）和晶圆片（14）穿过，所述连接通口（15）上安装有气囊密封结构（9）；所述退火室（5）的顶部铆接有隔热板（22），所述隔热板（22）的下端面均匀安装有若干组第一加热器（20），所述退火炉（4）的炉壁一周均匀分布有若干组第二加热器（21），所述退火炉（4）的上端面中间位置安装有真空抽吸泵（40），所述真空抽吸泵（40）的抽吸管伸入到退火室（5）内部，所述真空抽吸泵（40）的排气口连接有多孔接头（41）；所述气囊密封结构（9）包括气囊收纳架（91）、环形气囊（92）、第一进气管（93）和释压阀（94），所述气囊收纳架（91）固定在连接通口（15）的内侧面一周，所述气囊收纳架（91）的内侧面胶接有环形气囊（92），所述环形气囊（92）的局部向内伸出作用在密封板（12）的外边沿，所述环形气囊（92）的侧面穿过气囊收纳架（91）向外延伸设置有第一进气管（93），所述第一进气管（93）穿过进料箱（1）的上端面和多孔接头（41）连接，所述气囊收纳架（91）的外侧面安装有和环形气囊（92）内部连通的释压阀（94）；所述进料箱（1）的下端固定有惰性气体保温罐（50），所述惰性气体保温罐（50）的内表面设置有保温层，所述惰性气体保温罐（50）的一侧安装有增压泵（51），所述增压泵（51）的泵口处向上连接有保温管（52），所述保温管（52）向上延伸进入到退火室（5）内，所述保温管（52）的上端部设置有第一单向阀（53）；所述惰性气体保温罐（50）的另一侧连通设置有排气管（54），所述排气管（54）的下端部靠近惰性气体保温罐（50）的位置安装有电磁控制阀（55），所述排气管（54）向上延伸进入到退火室（5）内，所述排气管（54）的上端部安装有第二单向阀（56）；所述进料箱（1）的后端面铆接有支架（60），所述支架（60）上安装有储气罐（61），所述储气罐（61）的外部一周设置有环形冷却筒（62），所述环形冷却筒（62）内盛放有冷却水，所述储气罐（61）的顶部向上延伸连通设置有第二进气管（63），所述第二进气管（63）上端和多孔接头（41）连接，所述储气罐（61）的一端面中间位置处连通设置有喷吹管（65），所述喷吹管（65）靠近储气罐（61）的一端安装有脉冲阀（64），所述喷吹管（65）穿过进料箱（1）向退火室（5）内延伸，所述喷吹管（65）远离脉冲阀（64）的一端安装有作用于晶圆片（14）的喷头（66）；启动真空抽吸泵（40），利用抽吸管抽吸退火室（5）内部的空气，并首先将空气通过第一进气管（93）注入到环形气囊（92）内，使环形气囊（92）充气，一周均向外膨胀，并且跟密封板（12）的外边沿充分接触，这时退火室（5）处于密封状态，继续利用抽吸管抽吸退火室（5）内部的空气，并直接向外排放，直至退火室（5）内形成真空状态；打开排气管（54）上的电磁控制阀（55），将惰性气体保温罐（50）内的惰性气体通过排气管（54）释放进入到退火室（5）内，使退火室（5）内具有大量惰性气体，压强和外界保持一致；开启增压泵（51），利用保温管（52）慢慢抽吸退火室（5）内的高温惰性气体，高温惰性气体被输送进入到惰性气体保温罐（50）内进行保温，循环使用，并使退火室（5）的温度慢慢下降，晶圆片（14）也缓慢利用热辐射的方式进行散热，直至晶圆片（14）的温度低于和空气发生氧化反应的温度，这时打开释压阀（94），释放环形气囊（92）内空气，使其收缩，让升降杆（11）上升，带动接料杆（13）移动到晶圆片（14）的底部，让夹片器（8）的曲形夹头（86）回位，这时再让升降杆（11）下降，接料杆（13）和晶圆片（14）重新回到冷却腔（2）内进行自然冷却；打开多孔接头（41）的另一个接头阀，真空抽吸泵（40）利用抽吸管抽吸退火室（5）内部的空气，并将余下空气通过第二进气管（63）注入到储气罐（61）内，在储气罐（61）内储存的空气会受到环形冷却筒（62）的缓慢冷却，使高压的空气保持低温状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。