太星(珠海)科技有限公司金钟学获国家专利权
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龙图腾网获悉太星(珠海)科技有限公司申请的专利显影装置和真空显影蚀刻去膜生产线获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222896349U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421686506.8,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型显影装置和真空显影蚀刻去膜生产线是由金钟学;高大星;李源荣;杨克伟设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本显影装置和真空显影蚀刻去膜生产线在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种显影装置和真空显影蚀刻去膜生产线,该显影装置包括机架、传送辊组件、储液槽、第一喷淋组件、第一输液组件和新液喷洗单元,第一喷淋组件设置在传送辊组件的上侧和或下侧,第一输液组件连接在储液槽和第一喷淋组件之间,新液喷洗单元设在传送辊组件出料端,新液喷洗单元包括新液槽、第二喷淋组件和第二输液组件,第二喷淋组件设在传送辊组件的上侧和或下侧,第二输液组件连接在新液槽和第二喷淋组件之间,新液槽与储液槽连通,使得新液槽内的新液能进入储液槽内;第一喷淋组件和或第二喷淋组件能沿垂直传送辊组件的输送方向摆动;该真空显影蚀刻去膜生产线包括显影装置。本实用新型能提高显影质量并方便后续残膜被清洗干净。
本实用新型显影装置和真空显影蚀刻去膜生产线在权利要求书中公布了:1.显影装置,包括机架、传送辊组件、储液槽、第一喷淋组件和第一输液组件,所述传送辊组件设置在所述机架上并能沿纵向输送工件,所述第一喷淋组件设置在所述传送辊组件的上侧和或下侧,所述储液槽设置在所述机架的下部或后侧,所述第一输液组件连接在所述储液槽和所述第一喷淋组件之间,用于将所述储液槽内的显影液输送至所述第一喷淋组件,其特征在于:所述显影装置还包括新液喷洗单元,所述新液喷洗单元设置在所述传送辊组件的出料端,所述新液喷洗单元包括新液槽、第二喷淋组件和第二输液组件,所述第二喷淋组件设置在所述传送辊组件的上侧和或下侧,所述新液槽设置在所述机架的下部或后侧,所述第二输液组件连接在所述新液槽和所述第二喷淋组件之间,用于将所述新液槽内的新液输送至所述第二喷淋组件,所述新液槽内设置有与所述储液槽连通的溢流口,或者,所述显影装置设置有用于将所述新液槽内的新液输送至所述储液槽内的循环泵,使得所述新液槽内的新液能进入所述储液槽内;所述第一喷淋组件和或所述第二喷淋组件能相对所述传送辊组件沿横向来回摆动,所述横向垂直于所述传送辊组件的输送方向。
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