北京北方华创微电子装备有限公司胡伟杰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺腔室及托盘组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118645466B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410873892.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权半导体工艺腔室及托盘组件是由胡伟杰设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺腔室及托盘组件在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体工艺腔室及托盘组件，属于半导体加工技术领域。半导体工艺腔室包括腔室本体和旋转组件，旋转组件包括旋转轴和与旋转轴连接的托盘卡托，旋转轴与腔室本体的顶部可转动地连接，当旋转组件转动至预设角度的情况下，托盘卡托可与用于承载衬底的托盘组件连接或分离。该方案中，可以将衬底悬挂于内腔的顶部，使衬底的工艺面朝下设置，这样，腔室本体的内腔的内壁上形成的颗粒物无法掉落到衬底的工艺面上，衬底的工艺面不易形成掉落物缺陷等。
本发明授权半导体工艺腔室及托盘组件在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺腔室，其特征在于，包括：腔室本体（100），所述腔室本体（100）上设置有旋转流道（116），所述旋转流道（116）用于供第二流体通过；旋转组件（300），所述旋转组件（300）包括旋转轴（320）和托盘卡托（330），所述旋转轴（320）与所述腔室本体（100）的顶部可转动地连接，所述旋转组件（300）还包括旋转罩（310），所述旋转轴（320）的一端与所述旋转罩（310）连接，另一端与所述托盘卡托（330）连接，且所述旋转流道（116）的出口朝向所述旋转罩（310），以使所述第二流体驱动所述旋转组件（300）悬浮旋转，且所述第二流体不进入所述腔室本体（100）的内腔（140），当所述旋转组件（300）转动至预设角度的情况下，所述托盘卡托（330）可与用于承载衬底（400）的托盘组件（200）连接或分离。
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