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龙图腾网恭喜捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种预热水槽装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222896675U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421404677.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种预热水槽装置及系统是由高建军;吕明;徐晓俊;范建强设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种预热水槽装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种预热水槽装置及系统，涉及半导体技术领域。其中，预热水槽装置包括加热模块与监测模块，监测模块包括监测单元、报警单元；监测单元分别与加热模块、报警单元连接；加热模块、报警单元以及监测单元还均分别与供电装置连接。监测单元用于监测并依据加热模块的工作电流确定加热模块是否处于正常工作状态；当加热模块处于非正常工作状态时，监测单元向报警单元发送第一控制信号，以驱动报警单元开始工作；当加热模块处于正常工作状态时，监测单元向报警单元发送第二控制信号，以驱动报警单元停止工作。本实用新型能够在不改动现有预热水槽结构的基础上，实时监测对应加热管是否发生故障，并在监测后及时反馈给用户。

本实用新型一种预热水槽装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种预热水槽装置，其特征在于，所述预热水槽装置包括加热模块与监测模块，所述监测模块包括监测单元、报警单元；所述监测单元分别与所述加热模块、所述报警单元连接；所述加热模块、所述报警单元以及监测单元还均分别与供电装置连接；所述监测单元用于监测并依据所述加热模块的工作电流确定所述加热模块是否处于正常工作状态；当所述加热模块处于非正常工作状态时，所述监测单元向所述报警单元发送第一控制信号，以驱动所述报警单元开始工作；当所述加热模块处于正常工作状态时，所述监测单元向所述报警单元发送第二控制信号，以驱动所述报警单元停止工作；当所述加热模块包括多个并联连接的加热电阻时，所述监测模块包括多个监测单元、多个报警单元，所述加热电阻、所述监测单元与所述报警单元均一一对应；所述监测单元包括电流感应开关，所述电流感应开关包括感应线圈、感应开关；所述感应线圈套设在所述加热电阻上，所述感应开关与所述报警单元连接；其中，当所述加热模块处于正常工作状态时，所述感应线圈产生感应电流；所述感应开关断开，所述报警单元不工作；当所述加热模块非正常工作时，所述感应线圈不产生感应电流；所述感应开关闭合，所述报警单元工作；所述电流感应开关为常闭型电流感应开关。

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