恭喜无锡奥特维科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡奥特维科技股份有限公司申请的专利一种硅片侧边检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222896673U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420806662.7,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种硅片侧边检测装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片侧边检测装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种硅片侧边检测装置,包括硅片输送线、第一侧边缘检测部及第二侧边缘检测部。硅片输送线同步输送第一硅片和第二硅片,其输送路径上设置有第一侧边缘检测工位及第二侧边缘检测工位。第一侧边缘检测部被配置为对位于第一侧边缘检测工位的第一硅片的两侧边缘进行检测;第二侧边缘检测部被配置为对位于第二侧边缘检测工位的第二硅片的两侧边缘进行检测。本申请提供的硅片侧边检测装置,硅片输送线能够实施对两片硅片的同步输送,硅片输送线的输送路径上设置有第一侧边检测工位和第二侧边检测工位,两片同步输送的硅片先后在第一侧边检测工位、第二侧边检测工位处接受侧边检测,提升了硅片侧边检测效率。
本实用新型一种硅片侧边检测装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片侧边检测装置,其特征在于,所述硅片侧边检测装置包括硅片输送线、第一侧边缘检测部及第二侧边缘检测部,其中:所述硅片输送线被配置为沿第一方向同步输送第一硅片和第二硅片,其中,所述第一硅片和所述第二硅片沿第二方向并排放置,所述第二方向垂直于第一方向;所述硅片输送线的输送路径上依次设置有第一侧边缘检测工位及第二侧边缘检测工位;所述第一侧边缘检测部设置在所述第一侧边缘检测工位,被配置为对位于所述第一侧边缘检测工位的所述第一硅片的两侧边缘进行检测;所述第二侧边缘检测部设置在所述第二侧边缘检测工位,被配置为对位于所述第二侧边缘检测工位的所述第二硅片的两侧边缘进行检测。
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