恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司龙茂林获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司申请的专利可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111574139.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置是由龙茂林设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本公开提供了可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置。该可配置的法拉第屏蔽体包括多个肋状体。每个肋状体可以沿圆周方向彼此间隔开。此外，可配置的法拉第屏蔽体的至少一部分至少在第一位置和第二位置之间可移动，以将可配置的法拉第屏蔽体选择性地耦合到射频接地平面。当可配置的法拉第屏蔽体的至少一部分处于第一位置时，可配置的法拉第屏蔽体可与射频接地平面去耦合，使得可配置的法拉第屏蔽体电浮动。相反，当可配置的法拉第屏蔽体的至少一部分处于第二位置时，可配置的法拉第屏蔽体可被耦合到射频接地平面，使得可配置的法拉第屏蔽体电接地。
本发明授权可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种可配置的法拉第屏蔽体，所述可配置的法拉第屏蔽体限定了轴向、圆周方向和径向，所述可配置的法拉第屏蔽体包括：多个肋状体，所述肋状体中的每个肋状体沿所述圆周方向彼此间隔开，所述多个肋状体耦合在第一射频接地平面与第二射频接地平面之间；多个导电带；以及锁定构件，至少在第一位置和第二位置之间可移动，以经由所述多个导电带的对应导电带将所述多个肋状体中的每个肋状体选择性地耦合到所述第一射频接地平面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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