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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113823590B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010559923.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法是由郑旭东设计研发完成，并于2020-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法，其中，所述晶圆防偏承载装置包括：承载板和多个卡钩，所述卡钩通过转轴与承载板连接且沿承载板的周向均匀布设，所述卡钩包括一长边和一短边，所述长边的内侧设置有限位凸起，自然状态下，卡钩处于张开状态，当将晶圆加载到承载板时，晶圆压迫短边，使卡钩旋转，直至长边上的限位凸起与晶圆的侧端面相抵后使晶圆处于约束态，此时，卡钩处于夹紧状态且卡钩的短边的自由端仍高于承载板的上表面，以支撑晶圆。该晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法可有效防止晶圆在传输过程中发生偏移，产生颗粒少且不易聚集，可保证产品质量，应对晶圆变形的适应性好，可适应一定尺寸范围内的晶圆。

本发明授权晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法在权利要求书中公布了：1.晶圆防偏承载装置，其特征在于，包括：承载板1和多个卡钩2，所述卡钩2通过转轴3与承载板1连接且沿承载板1的周向均匀布设，所述卡钩2包括一长边21和一短边22，所述长边21的内侧设置有限位凸起211，所述限位凸起211的下部设置一平面；自然状态下，卡钩2处于张开状态，所有卡钩的长边21上的限位凸起211位于第一圆A上，所有卡钩2的短边22的自由端高于承载板1的上表面且最高点位于第二圆B上，所述第一圆A与第二圆B同心且第二圆B位于第一圆A的内侧，当将晶圆4加载到承载板1时，晶圆4压迫短边22，使卡钩2旋转，直至长边21上的限位凸起211的平面与晶圆4的侧端面相抵后使晶圆4处于约束态，此时，卡钩2处于夹紧状态且卡钩2的短边的自由端仍高于承载板1的上表面，以支撑晶圆4。

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