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龙图腾网恭喜北京精恒工控科技有限公司申请的专利一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119775048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510272457.6，技术领域涉及：C04B41/53；该发明授权一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法是由廖占武设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及石英晶体双面刻蚀技术领域，公开了一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法，该方法包括：获取所述石英晶体刻蚀时第一刻蚀面的刻蚀信息和第二刻蚀面的刻蚀信息，根据所述刻蚀枪的同步运行数据和相邻时段所述刻蚀枪的同步运行数据，获取数据差异值，根据各所述刻蚀枪的历史同步运行数据，确定数据差值阈值，根据所述数据差值阈值对所述数据差异值进行筛选，并基于高斯混合模型获取筛选后数据异常值，根据所述数据异常值，确定两所述刻蚀枪的同步运行时是否为异常状态。根据所述两所述刻蚀枪的同步运行数据以及石英晶体的内部应力，对异常状态的刻蚀枪进行调整。本发明有效提升石英晶体双面刻蚀时的效率和精度。

本发明授权一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于石英晶体的高精度双面同步刻蚀方法，其特征在于，包括：获取石英晶体刻蚀时第一刻蚀面的刻蚀信息和第二刻蚀面的刻蚀信息，其中，所述刻蚀信息包括：两刻蚀枪的同步运行数据和相邻时段所述刻蚀枪的同步运行数据；根据所述刻蚀枪的同步运行数据和相邻时段所述刻蚀枪的同步运行数据，获取数据差异值，获取各所述刻蚀枪的历史同步运行数据，根据所述历史同步运行数据，确定数据差值阈值，根据所述数据差值阈值对所述数据差异值进行筛选，并基于高斯混合模型获取筛选后数据异常值，根据所述数据异常值，确定两所述刻蚀枪的同步运行时是否为异常状态；根据所述两所述刻蚀枪的同步运行数据以及石英晶体的内部应力，对异常状态的刻蚀枪进行调整；其特征在于，根据所述历史同步运行数据，确定数据差值阈值时，包括：；其中，Y表示差异数据阈值，表示历史正常同步运行数据的差异均值，表示历史正常同步运行数据的差异标准差，k表示调节因子，其中：；；；其中，Wt表示历史正常同步运行数据的数据差异值，表示t时刻的同步运行数据，表示t-1时刻的同步运行数据，N表示历史正常同步运行数据的数量。

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