恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王孝坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119665806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510149158.3,技术领域涉及:G01B9/02055;该发明授权基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法是由王孝坤;蔡铭宣;蔡梦雪;王金成;张爽爽;丁悦;王玉坤;宋俊伟;张学军设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及面形检测领域,尤其涉及一种基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法,设计全口径CGH补偿器,并根据全口径CGH补偿器对非球柱面元件的待检面进行全口径检测,获得全口径检测结果;根据非球柱面元件的待检面的面形进行子孔径规划,并设计与每个子孔径相应的子孔径CGH补偿器,并根据各子孔径CGH补偿器对非球柱面元件的待检面进行子口径拼接检测,获得拼接检测结果;其中,采用分层平滑优化算法对相邻两个子孔径之间的重叠区域进行相位平滑处理;利用全口径检测结果中的低频信息,标定各子孔径的位置,修正各子孔径的位移误差。本发明能够实现非球柱面元件低中频误差的同步高精度同步检测。
本发明授权基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于子孔径拼接与CGH补偿的低中频误差同步检测方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:根据非球柱面元件的待检面的面形,采用光线追迹方式设计用于全口径补偿的全口径CGH补偿器,并根据该全口径CGH补偿器与干涉仪搭建检测光路,对非球柱面元件的待检面进行全口径检测,获得全口径检测结果;S2:根据非球柱面元件的待检面的面形进行子孔径规划,并设计与每个子孔径相应的子孔径CGH补偿器,并将各子孔径CGH补偿器放置到检测光路中替换全口径CGH补偿器,对非球柱面元件的待检面进行子口径拼接检测,获得拼接检测结果;其中,在设计与每个子孔径相应的子孔径CGH补偿器的过程中,首先分别对每个子孔径采用光线追迹方式计算相应的子孔径CGH补偿器的初始相位函数,然后采用分层平滑优化算法对相邻两个子孔径之间的重叠区域进行相位平滑处理;S3:将全口径检测结果与拼接检测结果进行对比分析,利用全口径检测结果中的低频信息,标定各子孔径的位置,修正各子孔径的位移误差。
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