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恭喜苏州领锐源奕光电科技有限公司高勋获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州领锐源奕光电科技有限公司申请的专利一种光学元件表面测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119334268B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411885608.7,技术领域涉及:G01B11/16;该发明授权一种光学元件表面测量装置及方法是由高勋;黄建兵;于海龙;黄建明;潘亚雷设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光学元件表面测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学元件表面测量装置及方法,装置包括光源模块、运动台、激光能量监测模块、光电探测模块、空间三角焦点定位模块、投影模块、双目视觉模块和处理模块。本发明的技术方案,通过激光能量监测模块实时记录激光脉冲能量,光电探测模块精准测量聚焦光斑半径,空间三角焦点定位模块精确定位焦点位置,通过投影模块将周期性结构干涉条纹投射到待测光学元件表面,利用双目视觉模块捕捉干涉条纹变化,结合相移和解包裹算法,判断微形变或损伤,实现光学元件表面微形变及损伤形貌的三维重建。实现光学元件的微形变及损伤阈值实时在线测量,优化了损伤阈值评估过程。本发明具有高精度、实时性强、自动化程度高和适用范围广等优点。

本发明授权一种光学元件表面测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种光学元件表面测量装置,其特征在于,包括:光源模块,所述光源模块用于向待测光学元件输出强度可调的激光光束;运动台,所述运动台用于承载待测光学元件、狭缝元件或分辨率测试板,还用于带动所述待测光学元件、所述狭缝元件或所述分辨率测试板在多个方向移动;激光能量监测模块,所述激光能量监测模块用于记录所述待测光学元件测试时所述光源模块每次发射激光脉冲的能量;光电探测模块,所述光电探测模块用于在所述狭缝元件设置在所述运动台时采用狭缝法测量激光聚焦光斑的半径;空间三角焦点定位模块,所述空间三角焦点定位模块用于在所述运动台调节所述待测光学元件的空间位置至焦点时,定位所述待测光学元件所处的空间坐标;投影模块,所述投影模块用于产生周期性干涉条纹并投影到所述待测光学元件的表面;双目视觉模块,所述双目视觉模块包括第一相机和第二相机,所述第一相机和所述第二相机均用于获取所述待测光学元件表面的干涉条纹图像,其中所述第一相机获取同轴光束,所述第二相机获取离轴光束;处理模块,所述光源模块、所述运动台、所述激光能量监测模块、所述光电探测模块、所述空间三角焦点定位模块、所述投影模块和所述双目视觉模块均与所述处理模块连接,所述处理模块用于根据所述干涉条纹图像检测所述待测光学元件表面微形变或损伤阈值;所述运动台包括自定心支架、旋转角位移台、Z轴升降位移台、第一X轴线性位移台和Y轴线性位移台,所述自定心支架用于固定所述待测光学元件、所述狭缝元件或所述分辨率测试板,所述旋转角位移台、所述Z轴升降位移台、所述第一X轴线性位移台和所述Y轴线性位移台分别用于调整所述待测光学元件、所述狭缝元件或所述分辨率测试板的旋转角度、Z方向位置、X方向位置和Y方向位置,其中X轴、Y轴和Z轴两两相互垂直;所述光电探测模块包括带通滤波片和光电探测器,当所述狭缝元件固定在所述自定心支架上时,聚焦光斑经过所述狭缝元件的狭缝和所述带通滤波片后被所述光电探测器接收,所述第一X轴线性位移台用于带动所述狭缝元件移动,所述处理模块还用于根据所述光电探测器的信号测量所述聚焦光斑的半径。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州领锐源奕光电科技有限公司,其通讯地址为:215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发区长安路东侧12号楼1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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