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龙图腾网恭喜幂帆科技(上海)股份有限公司申请的专利一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480771B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411633044.8，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构是由葛春华;陆宁宁;夏笔健设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工技术领域，是关于一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构，其包括：搬运底座，所述搬运底座活动连接于搬运连接板上；所述搬运底座上滑动连接有升降平台；还包括升降支撑柱，所述升降支撑柱转动连接于升降平台上；所述升降支撑柱的上部活动穿过搬运底座；所述升降支撑柱的下端与旋转单元相连接，升降支撑柱的上端连接有真空吸盘单元；所述升降支撑柱的中部转动连接于搬运底座上；所述升降支撑柱的上部活动穿设有真空轴安装板，真空轴安装板上连接有真空空心轴；所述搬运底座上连接有真空轴升降单元。采用上述结构后，其有益效果是：晶圆卡盘能够左右移动、上下升降和360°旋转，能够更好地将晶圆运用于不同工序。

本发明授权一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构在权利要求书中公布了：1.一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构，其特征在于，其包括：搬运底座，所述搬运底座活动连接于搬运连接板上；所述搬运底座上滑动连接有升降平台；还包括升降支撑柱，所述升降支撑柱转动连接于升降平台上；所述升降支撑柱的上部活动穿过搬运底座；所述升降支撑柱的下端与旋转单元相连接，升降支撑柱的上端连接有用于吸附晶圆的真空吸盘单元；所述升降支撑柱的中部转动连接于搬运底座上，升降支撑柱相对于搬运底座能转动；所述升降支撑柱的上部活动穿设有真空轴安装板，真空轴安装板上连接有至少一个的真空空心轴，真空空心轴内具有通道；所述真空空心轴的一端通过真空接头与真空发生器相连接，真空空心轴的另一端依次活动穿过吸盘安装块、卡盘安装板和晶圆卡盘后连接有真空吸盘单元的真空吸盘；所述搬运底座上连接有用于带动真空轴安装板升降的真空轴升降单元；所述搬运底座上连接有升降导轨，所述升降导轨上连接有升降滑块，所述升降平台连接于升降滑块上；升降平台在搬运底座上进行上下升降；所述搬运底座上转动连接有升降丝杆，所述升降丝杆的两端分别通过轴承座转动连接于搬运底座上；所述升降丝杆上螺纹连接有升降螺母件，所述升降平台与升降螺母件相连接；升降丝杆的一端连接有升降从动轮，所述搬运底座上连接有升降电机，所述升降电机的活动端连接有升降主动轮，所述升降主动轮和升降从动轮之间连接有升降同步带；所述旋转单元包括设于升降平台上的旋转电机，所述旋转电机的活动端连接有旋转主动轮，所述升降支撑柱的下端连接有旋转从动轮，所述旋转主动轮与旋转从动轮之间通过旋转同步带相连接；所述真空轴升降单元包括设于搬运底座上的真空轴升降部；所述真空轴升降部的活动端连接有真空轴升降块，所述真空轴升降块位于真空轴安装板的下方。

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