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龙图腾网恭喜浙江创芯集成电路有限公司申请的专利用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119151381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411614218.6，技术领域涉及：G06Q10/0639；该发明授权用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统是由陈鼎崴;冯浩然;柴路芸;房慧胜;王志强设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统，该平台专为Fab系统设计，根据Fab各系统中业务数据处理任务需求定制开发，部署于晶圆制造厂多个机台设备的边缘侧，并与各机台设备通信连接。所述平台能够采集并筛选符合高质量晶圆标准的工艺参数数据，利用特定算法模型进行分析处理，根据分析结果动态调整机台设备工艺参数并补偿Fab系统指数，优化机台设备性能与生产流程以及算法模型。通过结合边缘计算与AI技术，本发明实现了对半导体制造设备工艺参数的低时延处理和实时分析，提升了系统处理效率和响应速度，同时集成了设备数据处理的全流程自动化管理，降低了人工干预需求，减轻了开发人员工作负担。

本发明授权用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于Fab系统的AI边缘计算平台，其特征在于，基于Fab各系统中业务数据处理需求开发，部署于晶圆制造厂的多个机台设备的边缘侧，并与各机台设备通信连接，所述平台包括：机台数据采集模块，用于根据用户参数需求采集各机台设备的工艺参数值，并筛选属于正常晶圆生产环节且符合高质量晶圆标准的数据；其中，所述工艺参数值包括：机台腔体的温湿度、液体流速以及气体浓度中的一种或多种；数据分析模块，连接所述机台数据采集模块，用于利用由所述数据分析模块需要分析处理的数据量选择的具有Fab系统业务数据处理功能的算法模型对所述机台数据采集模块输出的数据进行分析处理，获得分析结果；数据优化模块，连接所述数据分析模块，用于利用所述数据分析模块输出的分析结果动态调整各机台设备的工艺参数值以及补偿Fab系统指数，以供将调整后的各工艺参数值反馈给用户优化机台设备的性能与生产流程，并采用补偿的Fab系统指数优化所述数据分析模块中的算法模型的模型参数；还用于基于所述数据分析模块需处理的数据量调整所述数据分析模块所利用的算法模型的类型；其中，所述数据分析模块用于利用由所述数据分析模块需分析的数据量选择的具有Fab各系统业务数据处理功能的机器学习模型或深度学习模型对所述机台数据采集模块输出的数据进行关键参数分析，获得对应的分析结果；其中，Fab各系统包括：YMS系统、APC系统、FDC系统、MES系统以及SPC系统；所述数据优化模块包括：参数调整补偿单元，用于利用所述分析结果动态调整工艺参数值以及补偿Fab系统指数，并将调整后的各工艺参数值反馈给用户以优化机台设备的性能与生产流程且利用Fab系统指数优化算法模型的模型参数；模型调整单元，用于监测所述数据分析模块输入的数据量，并在数据量在标准数据量范围内时控制数据分析模块利用机器学习模型对数据进行处理以及在数据量超过标准数据量范围时控制数据分析模块利用深度学习算法模型对数据进行处理。

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