买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜苏州冠礼科技有限公司申请的专利一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480710B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411616692.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备是由张仕成;李臻;尹蓉;贠奇豪;阎静;李方设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆加工技术领域，且公开了一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备，包括底座，底座采用抽壳设计，底座的内曲面设有转动机构，底座上表面前后两侧的中部对称固定安装有第二伸缩杆，两个第二伸缩杆伸缩端的内侧均对称固定安装有推板，两个第二伸缩杆伸缩端内侧面的上部固定安装有十字座，十字座上表面的中部固定安装有安装板。通过启动超声机构，超声机构产生的超声波透过晶圆表面的清洗液引起晶圆表面上下振动，从而进一步使晶圆表面的附着物进一步脱离，提高圆晶表面清洗效果，同时通过推板推动封块向滑动壳的中部移动，通过滑动壳流入喷头内腔的清洗液数量减小，从而解决了现有晶圆清洗装置，清洗效果差和清洗用材料浪费严重的问题。

本发明授权一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备在权利要求书中公布了：1.一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备，包括底座1，其特征在于：所述底座1采用抽壳设计，所述底座1的内曲面设有转动机构2，所述底座1上表面前后两侧的中部对称固定安装有第二伸缩杆3，两个所述第二伸缩杆3伸缩端的内侧均对称固定安装有推板301，两个所述第二伸缩杆3伸缩端内侧面的上部固定安装有十字座4，所述十字座4上表面的中部固定安装有安装板5，所述安装板5的中部螺纹连接有螺纹套杆6，所述螺纹套杆6外曲面的上部滑动套接有齿滑套601，所述安装板5的上表面固定安装有驱动件602，所述驱动件602的输出端固定安装有主动齿轮603，所述齿滑套601与主动齿轮603相互啮合，所述螺纹套杆6的内曲面设有喷气机构7，所述螺纹套杆6的底部设有展开机构8，所述十字座4的前后两侧滑动套接有对称的喷液机构9，所述喷液机构9包括滑动壳901，所述滑动壳901与十字座4滑动套接，所述滑动壳901的上部固定套接有输入套902，所述输入套902与外部清洗液输入装置的输出端固定套接，所述滑动壳901的两侧滑动套接有封块903，所述滑动壳901的底部固定套接有喷头904，所述十字座4中部的左右两侧滑动套接有超声机构10，所述超声机构10包括滑动块1001，所述滑动块1001与十字座4滑动套接，所述滑动块1001的底面固定安装有超声头1002，相邻两个所述喷头904与超声头1002之间均设有红外机构11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州冠礼科技有限公司，其通讯地址为：215151 江苏省苏州市苏州高新区浒墅关开发区石林路189号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。