恭喜苏州天准科技股份有限公司王承平获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州天准科技股份有限公司申请的专利一种空篮检测对接装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119297113B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411382438.0,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种空篮检测对接装置是由王承平;孙靖;徐伟锋;熊勇;薛峰设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种空篮检测对接装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种空篮检测对接装置,属于硅片生产制造领域,包括空篮篮齿检测回流线和空篮外形检测流线;空篮外形检测流线布置在空篮篮齿检测回流线的下游;其中,在空篮篮齿检测回流线的上方布置用于对空篮篮齿检测的线扫相机,在空篮外形检测流线的上方布置用于对空篮外形检测的面阵相机。对接段花篮转运模块,对接段花篮转运模块采用机器人或设置在机架上的顶置空间移动的夹爪,用于空花篮的空间转运。本申请的对接装置,可以兼顾后续工段空花篮向上游转运前的检测,且空篮回流自动化程度高,增设空篮质量检测工序,保证了空花篮的外观质量,便于在硅片制造加工领域推广应用。
本发明授权一种空篮检测对接装置在权利要求书中公布了:1.一种空篮检测对接装置,其特征在于:空篮检测对接装置包括空篮篮齿检测回流线(500)和空篮外形检测流线(600);所述空篮外形检测流线(600)布置在所述空篮篮齿检测回流线(500)的下游;其中,在所述空篮篮齿检测回流线(500)的上方布置用于对空篮篮齿检测的线扫相机(700),在空篮外形检测流线(600)的上方布置用于对空篮外形检测的面阵相机(800);所述空篮篮齿检测回流线(500)包括篮齿检测架(510)和托举横移组件(520),其中,篮齿检测架(510)采用双层平框设计,所述托举横移组件(520)布置在所述篮齿检测架(510)的双层平框处,用于托举并横移花篮。
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