恭喜苏州芯轮半导体科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆表面清洗载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422387064.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆表面清洗载台是由张磊;朱伟明;邓子民设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面清洗载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆表面清洗载台，包括底板，底板上设置有收集仓，底板上设置有真空旋转头，真空旋转头底部与动力机构连接，真空旋转头用于吸附固定晶圆并带动晶圆在收集仓内旋转，收集仓包括锥形底座，锥形底座外周上设置有竖向环形支撑边，锥形底座与竖向环形支撑边配合形成储液槽，储液槽的槽底设置有多个真空管，竖向环形支撑边顶部还设置有上罩盖，上罩上设置有第一避让口，锥形底座上设置有第二避让口，底板上还设置有热风管，热风管设置在锥形底座与底板之间，热风管通过第二避让口向收集仓内供给热风。本实用新型能够有效收集清洁剂，避免清洁剂在收集仓滞留，并且还能够提高晶圆表面干燥效率。
本实用新型一种晶圆表面清洗载台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面清洗载台，其特征在于，包括底板，所述底板上设置有收集仓，所述底板上设置有真空旋转头，所述真空旋转头底部与动力机构连接，所述真空旋转头用于吸附固定晶圆并带动晶圆在收集仓内旋转，所述收集仓包括锥形底座，所述锥形底座外周上设置有竖向环形支撑边，所述锥形底座与竖向环形支撑边配合形成储液槽，所述储液槽上设置有多个真空管，所述竖向环形支撑边顶部还设置有上罩盖，所述上罩上设置有第一避让口，所述锥形底座上设置有第二避让口，所述真空旋转头穿过第二避让口设置在收集仓内，所述底板上还设置有热风管，所述热风管设置在锥形底座与底板之间，所述热风管通过第二避让口向收集仓内供给热风。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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