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龙图腾网恭喜江苏福拉特自动化设备有限公司申请的专利一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118866778B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411347977.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法是由吴通;李素华;袁亚鸿;刘苏伟设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法，包括基座，在所述基座上方设有支撑盘，装载单片玻璃基板；所述支撑盘一侧设有刻蚀液喷洒机构，喷洒刻蚀药液制备所述玻璃基板上的盲孔；所述支撑盘另一侧设有清洗液喷洒机构，喷洒清洗液清洁所述玻璃基板的刻蚀面；所述支撑盘另一侧还设有喷气干燥机构，喷氮气干燥所述玻璃基板的刻蚀面；所述支撑盘的中心设有背喷组件，持续喷氮气保护所述玻璃基板的背面。本发明的TGV盲孔湿法刻蚀为单片旋转刻蚀，孔壁粗糙度好，刻蚀均一性好；同时单片旋转清洗也能够避免刻蚀副产物附着内壁，并且提高微孔的清洗效率。

本发明授权一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种湿法刻蚀装置制备TGV盲孔的方法，其特征在于，包括如下步骤：A：激光诱导变形，B：超纯水一次清洗，B1：外罩升起，旋转电机驱动支撑盘及其上的玻璃基板旋转，转速300~3000rpm；B2：启动第二旋转电机及第二升降气缸，驱动第二摆臂端部的清洗液兆声波喷嘴旋摆至玻璃基板中心并下降靠近刻蚀面；B3：通过清洗液兆声波喷嘴向刻蚀面喷洒超纯水，流量300～800mlmin；同时通过背喷组件的背喷管持续向玻璃基板的背面喷氮气，流量2～6Lmin；B4：喷洒超纯水的过程中，第二摆臂沿玻璃基板半径往复运动，摆速1~150mmsec；清洗时间20~60s；清洗过程中，超纯水沿外罩内壁向下流动，汇集于底部的清洗液回收管；C：刻蚀液刻蚀，C1：内罩升起，启动第一旋转电机及第一升降气缸，驱动第一摆臂端部的刻蚀液兆声波喷嘴旋摆至玻璃基板中心并下降靠近刻蚀面；C2：通过刻蚀液兆声波喷嘴向刻蚀面喷洒刻蚀药液，流量300～500mlmin，温度23～45℃；C3：喷洒刻蚀药液的过程中，第一摆臂沿玻璃基板半径往复运动，摆速为1~150mmsec；喷液时间100~1800s；刻蚀过程中，刻蚀药液沿内罩内壁向下流动，汇集于底部的刻蚀药液回收管；D：超纯水二次清洗，重复步骤B2～B4的操作，置换玻璃基板上的刻蚀药液以及清洗刻蚀盲孔内的杂质；刻蚀与清洗中产生的漂浮物在内罩内负压吸管的作用下吸出；E：干燥，第三旋转电机驱动第三摆臂端部的气体喷嘴定点干燥或沿玻璃基板半径往复运动，摆速1~150mmsec；清洗时间30~60s；F：下料检测。

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